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改善管式PECVD中石墨舟对位连接的电极块结构 

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申请/专利权人:中科研和(宁波)科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种改善管式PECVD中石墨舟对位连接的电极块结构,包括电极固定件、弹性电极片和弹性件,电极固定件中部设有通孔,弹性电极片包括第一部分和第二部分,电极固定件具有相邻的第一侧边和第二侧边,第一部分和第二部分分别沿第一侧边和第二侧边长度方向设置,第一部分位于第一侧边外侧且第一部分一端连接第一侧边,第二部分位于第二侧边外侧且第二部分一端连接第一部分另一端,第二部分与第二侧边通过弹性件连接,第二部分与第二侧边之间具有第一间隙;以解决现有技术中由于平面度加工误差和石墨舟定位误差导致电极与石墨舟接触不良、电连接不可靠、重复性差等问题,进而导致击穿放电、局部过热,造成连接件损坏的技术问题。

主权项:1.一种改善管式PECVD中石墨舟对位连接的电极块结构,其特征在于,包括电极固定件1、弹性电极片2和弹性件3,所述电极固定件1中部设有通孔4,所述弹性电极片2包括第一部分21和第二部分22,所述电极固定件1具有相邻设置的第一侧边11和第二侧边12,所述第一部分21沿所述第一侧边11长度方向设置,所述第二部分22沿所述第二侧边12长度方向设置,所述第一部分21位于所述第一侧边11外侧且所述第一部分21一端连接所述第一侧边11,所述第二部分22位于所述第二侧边12外侧且所述第二部分22一端连接所述第一部分21另一端,所述第二部分22与所述第二侧边12之间通过所述弹性件3连接,初始状态下,所述弹性件3使得所述第二部分22与所述第二侧边12之间具有第一间隙100。

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