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一种石英舟及硅片承载装置 

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申请/专利权人:浙江晶盛光子科技有限公司

摘要:本实用新型涉及半导体加工技术领域,公开一种石英舟及硅片承载装置。其中石英舟包括承载组件、舟耳和两个沿第一方向间隔设置的端板。两个端板相互背离的一侧分别设置有舟耳,两个舟耳的底部形成搭接面,搭接面相对端板倾斜设置,搭接面的边缘设置有倒角;承载组件位于两个端板之间,承载组件用于承载硅片使得硅片平行于端板。本实用新型实现了硅片形成倾斜状态,满足生产需求;能够最大程度的增加载片量,相对于现有技术,提高了2%的载片量;降低了石英舟与舟托的组装难度,提高了组装效率。

主权项:1.一种石英舟,其特征在于,包括:两个沿第一方向间隔设置的端板11,两个所述端板11相互背离的一侧分别设置有舟耳12,两个所述舟耳12的底部形成搭接面121,所述搭接面121相对所述端板11倾斜设置,所述搭接面121的边缘设置有倒角122;承载组件13,其位于两个所述端板11之间,所述承载组件13用于承载硅片使得硅片平行于所述端板11。

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权利要求:

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