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申请/专利权人：广东科卓半导体设备有限公司
摘要：本发明公开了一种兼容高低倍率检测的晶圆切割道检测系统及检测方法，包括检测本体，检测本体一侧设置有检测口，检测口设置透光片；检测本体另一侧设有高倍采集装置、低倍采集装置和控制单元；检测本体内呈四十五度倾斜设有与控制单元电气连接的光路切换装置；高倍采集装置和低倍采集装置均设有同轴光源；光路切换装置包括切换框体，切换框体具有工作区和存储区；切换框体滑动设有半反半透组件和第一反射组件；检测本体内还设有与光路切换装置平行设置的第二反射组件；第二反射组件与高倍采集装置位置对应；适应不同入射光环境下的切换，无需进行大功率补光，避免了仅使用半反半透镜需要大功率补光带来的成像炫光问题，提高了成像质量。
主权项：1.一种兼容高低倍率检测的晶圆切割道检测系统，其特征在于，包括检测本体，检测本体一侧设置有检测口，检测口设置透光片；检测本体另一侧设有高倍采集装置、与检测口位置对应的低倍采集装置以及与高倍采集装置和低倍采集装置电气连接的控制单元；检测本体内呈四十五度倾斜设有与控制单元电气连接的光路切换装置；高倍采集装置和低倍采集装置均设有同轴光源；光路切换装置包括切换框体，切换框体具有与检测口对应的工作区和与检测口错开的存储区；切换框体滑动设有半反半透组件和第一反射组件；检测本体内还设有与光路切换装置平行设置的第二反射组件；第二反射组件与高倍采集装置位置对应；在半反半透组件和第一反射组件均处于存储区时，光路切换装置处于完全透射状态；在半反半透组件处于工作区时，光路切换装置处于半反半透状态；在第一反射组件处于工作区时，光路切换装置处于完全反射状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东科卓半导体设备有限公司 一种兼容高低倍率检测的晶圆切割道检测系统及检测方法
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