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申请/专利权人：无锡松煜科技有限公司

摘要：本发明涉及一种用于半片电池片截面钝化修复的加热导电装置，属于光伏电池制造技术领域。本发明通过设置进气组件、升降机构、传输机构、加热器和射频电源以形成专用于半片电池片截面钝化修复的加热导电装置，能够在等离子体的作用下，将氨气分解为氢气和氮气并作用于片盒内的半片电池切片的待修复截面上，配合加热器的加热放电作用，使得氮气在半片电池切片截面发生反应形成氮化硅薄膜，不仅提升了半片电池片的工作功率和性能，降低了损耗，而且还对切断处的截面钝化进行了镀膜修复，避免切割后的多余操作影响工作效率。

主权项：1.一种用于半片电池片截面钝化修复的加热导电装置，其特征在于，包括：腔室上壳，包括安装于腔室上壳内侧的进气组件1、连接所述进气组件1的导电机构2；所述进气组件1包括从上至下逐层连接绝缘板102、隔板103、进气管组件108、进气板盖板105、进气底板106；所述绝缘板102与腔室上壳的导电部分101连接；所述进气管组件108包括连接隔板103两侧的两个进气侧板104，两个进气侧板104之间连接有多个水平布置的进气管，所述进气侧板104具有多个通向进气板盖板105的进气孔；所述进气板盖板105和所述进气底板106分别铣有多个平行分布的第一槽孔和第二槽孔，所述进气底板106还具有多个与第二槽孔交替布局的横槽，所述横槽与第二槽孔形成了进气底板106表面的交错纵横的槽型结构，所述槽型结构上均布有水源、TMA、氨气中的一种或多种；所述进气底板106的槽型结构下方设置有九个匀流板107，所述匀流板107通过密封圈与槽型结构密封连接，所述匀流板107呈九宫格形式平铺排列；腔室下壳，铰接所述腔室上壳且位于腔室上壳下方，所述腔室下壳包括固定于腔室下壳的加热器冷端、连接加热器冷端且固定于所述腔室下壳的升降机构7、固定于腔室下壳且位于加热器冷端上方的多个传输机构6，所述传输机构6上方连接载板5，所述载板5上安装有多个位于加热器3下方的片盒4，所述片盒4中允许放置半片电池切片；所述腔室下壳还设置有真空管道；所述传输机构6包括减速电机605、通过同步带604连接减速电机605的同步轮601、连接同步轮601的磁流体602，所述磁流体602通过第一联轴器603连接传动轴607，所述传动轴607两侧安装有轴承座606，所述传动轴607连接有承载所述载板5的滚轮组；所述滚轮组包括多个第一滚轮608和多个位于第一滚轮608两侧的第二滚轮609，第一滚轮608与所述载板5的表面齐平，所述第二滚轮609安装于载板5的两侧且凸出于载板5的表面，所述第一滚轮608和第二滚轮609的材质均为铁氟龙且能够隔绝载板5与腔室下壳的导电；所述传动轴607两端具有限位凸台；加热器3，位于进气组件1和片盒4之间且连接加热器冷端和升降机构7；射频电源8，连接所述导电机构2和所述加热器冷端；允许通过射频电源8和导电机构2对载板5和进气组件1进行导电氧化处理并通过进气组件1分解的气体对片盒4中的半片电池切片的截面进行镀膜，所述加热器3的加热范围允许在升降机构7的驱动作用下辐射到所有片盒4所在的位置；所述导电机构2与进气底板106连接，所述进气板盖板105、进气底板106、匀流板107具有导电功能；所述升降机构7包括换向器705、通过第二联轴器706连接所述换向器705两侧的两个连接轴704、分别连接两个连接轴704的两个螺旋升降器702，所述螺旋升降器702两侧通过连接板703连接第一电机升降组件701和第二电机升降组件707，所述第一电机升降组件701和第二电机升降组件707承载所述加热器3，所述加热器冷端连接绝缘法兰709；所述第一电机升降组件701和第二电机升降组件707通过支撑板708连接绝缘法兰709，所述绝缘法兰709连接波纹管710，所述波纹管710连接腔室底部，当升降机构7带动加热器3升降时，允许波纹管710和绝缘法兰709连接着加热器冷端一起升降。

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