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申请/专利权人：南京大学
摘要：本发明公开了一种有效降低读出噪声的复合介质栅光敏探测器及其工作方法，属于成像探测器件技术领域。本发明通过在衬底中增加N型掺杂区，复位后将其排空作为光电子收集区，此时光敏探测器结构将存在两个光电子存储节点，分别是复合介质栅MOS电容衬底表面和衬底内部的N型掺杂区。在读取过程中，通过转移栅完成对光电子从衬底内部N型掺杂区到衬底表面的转移，在极短的时间内完成转移前后两次读出采样，实现相关双采样，极大程度上抑制了复合介质双栅MOSFET的读出噪声。同时通过漏端加高压，使得漏端耗尽区与衬底内部的N型掺杂区相连，此时接近雪崩状态，电流指数级上升，可在极短时间内完成复位过程，提升光敏探测器阵列工作帧率。
主权项：1.一种有效降低读出噪声的复合介质栅光敏探测器，其特征在于，所述探测器由N个光敏探测单元构成，每个光敏探测单元包括衬底和复合介质栅结构；所述复合介质栅结构中包括复合介质栅MOS电容、读取复合介质栅MOSFET和选择复合介质栅MOSFET，三者形成于同一衬底上，且复合介质栅MOS电容与读取复合介质栅MOSFET之间以及复合介质栅MOS电容与选择复合介质栅MOSFET之间均通过第一隔离结构实现功能区的分离；两个相邻光敏探测单元的衬底之间通过第二隔离结构完全分离；所述衬底中自下而上设置有N型掺杂区和P型衬底，其中N型掺杂区自下而上掺杂浓度增大；所述第一隔离结构设置于P型衬底中，且N型掺杂区掺杂浓度最大处位于所述第一隔离结构底部以下0.1~0.5um处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京大学 有效降低读出噪声的复合介质栅光敏探测器及其工作方法
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