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申请/专利权人：萨默费尼根有限公司
摘要：提供了一种对于仪器到仪器可重复性的发射电流测量。本发明描述了一种离子源组件，所述离子源组件包括：电子源，所述电子源被配置为将电子注入到离子体积中以使所述离子体积中的原子或分子电离，其中，所述电子源包括细丝；透镜电极，所述透镜电极位于电子源附近并包括开口，所述开口被配置为使电子从所述电子源穿过所述开口进入所述离子体积；电源电压源，所述电源电压源耦合至所述细丝并被配置为向所述细丝供应第一电压，其中，所述第一电压可操作为使所述离子体积中的分子电离。此外，偏置电压源耦合至所述电源电压源并被配置为向所述透镜电极供应偏置电压。撞击所述透镜电极的电子随后返回到所述细丝。
主权项：1.一种离子源组件，包括：细丝，所述细丝被配置为通过热电子发射来发射电子；透镜电极，所述透镜电极包围所述细丝；第一电源，所述第一电源耦合至所述细丝，其中，所述第一电源被配置为以第一电压摆率向所述细丝供应第一电压输出，其中，所述第一电压输出可操作为使分子电离；第二电源，所述第二电源耦合至所述透镜电极，其中，所述第二电源被配置为以第二电压摆率向所述透镜电极供应第二电压输出；第一电容器，所述第一电容器将所述第一电压输出耦合至所述第二电压输出；以及电阻器，所述电阻器耦合在所述第二电压输出与所述透镜电极之间，其中，所述第一电容器和所述电阻器的值能够被选择以使所述第一电压摆率与所述第二电压摆率对准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 萨默费尼根有限公司 对于仪器到仪器可重复性的发射电流测量
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