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一种复合铜箔的制备方法 

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申请/专利权人:广东盈华电子科技有限公司

摘要:本发明属于金属薄膜制备技术领域,涉及一种复合铜箔的制备方法。所述方法包括以下步骤:将锌盐的醇溶液喷涂在高分子聚合物基膜,经热处理,负载氧化锌纳米层,得复合膜1;将复合膜1浸入含贵金属盐和稳定剂的多元醇溶液中,将贵金属离子还原为贵金属纳米颗粒,清洗,得复合膜2;最后将复合膜2浸入碱性化学镀铜溶液中进行镀铜,即得复合铜箔。在高分子聚合物基膜上制备了负载贵金属纳米颗粒的氧化锌纳米层,有效提高了铜箔层与高分子聚合物层的附着力及导电性能;为后续化学镀铜提供了基础;采用喷涂加热处理的工艺,同时避免了使用昂贵的激光脉冲沉积、磁控溅射等设备,成本较低,且更容易实现大规模制备和工业化生产。

主权项:1.一种复合铜箔的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)氧化锌纳米层的制备:将锌盐的醇溶液喷涂在高分子聚合物基膜上,经热处理,得到复合膜1;(2)负载贵金属纳米颗粒:将复合膜1浸入含贵金属盐和稳定剂的多元醇溶液中,将贵金属离子还原为贵金属纳米颗粒,清洗,得到复合膜2;(3)化学镀铜:将复合膜2浸入碱性化学镀铜溶液中进行镀铜,即得复合铜箔;所述锌盐的醇溶液包括锌盐、含氮配体和乙醇;所述锌盐选自ZnSO4·7H2O、ZnCl2、ZnNO32·6H2O和ZnOAC2·2H2O中的至少一种;所述含氮配体选自三乙醇胺、二乙醇胺、乙醇胺、三丙醇胺和二丙醇胺中的至少一种;所述锌盐的醇溶液中锌离子浓度为10-200mM;所述碱性化学镀铜溶液包括硫酸铜、还原剂和络合剂;所述还原剂为二甲氨基甲硼烷和次磷酸钠组成的双还原剂体系;所述络合剂为乙二胺四乙酸二钠;所述碱性化学镀铜溶液中Cu2+浓度为5-20gL,次磷酸钠浓度为5-100gL,二甲氨基甲硼烷浓度为0.05-5gL;乙二胺四乙酸二钠浓度为10-30gL;氧化锌纳米层厚度为50nm-2μm。

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