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申请/专利权人：广东盈华电子科技有限公司
摘要：本发明属于金属薄膜制备技术领域，涉及一种复合铜箔的制备方法。所述方法包括以下步骤：将锌盐的醇溶液喷涂在高分子聚合物基膜，经热处理，负载氧化锌纳米层，得复合膜1；将复合膜1浸入含贵金属盐和稳定剂的多元醇溶液中，将贵金属离子还原为贵金属纳米颗粒，清洗，得复合膜2；最后将复合膜2浸入碱性化学镀铜溶液中进行镀铜，即得复合铜箔。在高分子聚合物基膜上制备了负载贵金属纳米颗粒的氧化锌纳米层，有效提高了铜箔层与高分子聚合物层的附着力及导电性能；为后续化学镀铜提供了基础；采用喷涂加热处理的工艺，同时避免了使用昂贵的激光脉冲沉积、磁控溅射等设备，成本较低，且更容易实现大规模制备和工业化生产。
主权项：1.一种复合铜箔的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）氧化锌纳米层的制备：将锌盐的醇溶液喷涂在高分子聚合物基膜上，经热处理，得到复合膜1；（2）负载贵金属纳米颗粒：将复合膜1浸入含贵金属盐和稳定剂的多元醇溶液中，将贵金属离子还原为贵金属纳米颗粒，清洗，得到复合膜2；（3）化学镀铜：将复合膜2浸入碱性化学镀铜溶液中进行镀铜，即得复合铜箔；所述锌盐的醇溶液包括锌盐、含氮配体和乙醇；所述锌盐选自ZnSO4·7H2O、ZnCl2、ZnNO32·6H2O和ZnOAC2·2H2O中的至少一种；所述含氮配体选自三乙醇胺、二乙醇胺、乙醇胺、三丙醇胺和二丙醇胺中的至少一种；所述锌盐的醇溶液中锌离子浓度为10-200mM；所述碱性化学镀铜溶液包括硫酸铜、还原剂和络合剂；所述还原剂为二甲氨基甲硼烷和次磷酸钠组成的双还原剂体系；所述络合剂为乙二胺四乙酸二钠；所述碱性化学镀铜溶液中Cu2+浓度为5-20gL，次磷酸钠浓度为5-100gL，二甲氨基甲硼烷浓度为0.05-5gL；乙二胺四乙酸二钠浓度为10-30gL；氧化锌纳米层厚度为50nm-2μm。
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