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提高X射线光源光谱纯度的多层膜反射镜表面帽层结构 

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申请/专利权人:浙江同越光学科技有限公司

摘要:本发明公开了一种提高X射线光源光谱纯度的多层膜反射镜表面帽层结构,包括X射线周期反射多层膜和表面帽层结构,所述表面帽层结构位于X射线周期多层膜的顶部。帽层结构为单层膜,材料经过特殊选择,厚度经过优化。本发明采用上述提高X射线光源光谱纯度的多层膜反射镜表面帽层结构,改变传统的多层膜结构,通过在表面增加一层特殊材料的吸收层,该材料的共振吸收边介于Kα和Kβ谱线波长之间,从而实现对X射线光管Kα特征谱线的吸收小,但对Kβ谱线的吸收大,在保证多层膜工作反射率和带宽的同时,抑制Kβ谱线的强度,提高光谱纯度。

主权项:1.提高X射线光源光谱纯度的多层膜反射镜表面帽层结构,其特征在于,包括X射线周期反射多层膜和表面帽层结构,所述表面帽层结构位于X射线周期多层膜的顶部。帽层结构为单层膜,材料经过特殊选择,厚度经过优化。

全文数据:

权利要求:

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