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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种刚度阻尼装置及具有其的光刻设备，涉及光刻设备技术领域，为解决平面光栅和光栅安装板在工作状态下的结构动态稳定性易受到干扰的问题而设计。包括沿Z向设置的第一安装结构和第二安装结构，第一安装结构固定连接活塞，第二安装结构开设容纳腔，容纳腔设置粘性流体，活塞伸入容纳腔；第一安装结构为可变形结构，第一安装结构能够产生绕X向的变形、绕Y向的变形和绕Z向的变形；第一安装结构通过补偿组件与第二安装结构连接，补偿组件允许第一安装结构与第二安装结构产生沿Z向的相对位移以及绕X向、绕Y向和绕Z向的转动自由度，补偿组件环绕并密封容纳腔。本发明保证了平面光栅和光栅安装板在工作状态下的结构动态稳定性。
主权项：1.一种刚度阻尼装置，其特征在于，包括沿Z向设置的第一安装结构100和第二安装结构200，所述第一安装结构100固定连接活塞400，所述第二安装结构200开设容纳腔210，所述容纳腔210设置粘性流体500，所述活塞400伸入所述容纳腔210，且沿XY平面投影，所述活塞400的轮廓小于所述容纳腔210的轮廓；所述第一安装结构100为可变形结构，所述第一安装结构100能够产生绕X向的变形、绕Y向的变形和绕Z向的变形；所述第一安装结构100通过补偿组件300与所述第二安装结构200连接，所述补偿组件300允许所述第一安装结构100与所述第二安装结构200产生沿Z向的相对位移，所述补偿组件300环绕并密封所述容纳腔210，所述补偿组件300还允许所述第一安装结构100与所述第二安装结构200之间具有绕X向的转动自由度、绕Y向的转动自由度和绕Z向的转动自由度。
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百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 刚度阻尼装置及具有其的光刻设备
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