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申请/专利权人：上海赛丽微电子有限公司
摘要：本发明涉及光波导及其制造领域，提供一种波导过渡结构、片上光波导和光传输设备，该波导过渡结构应用于片上光波导或光传输设备，包括：过渡输入区，用于耦合光输入信号，并扩大所述光输入信号的光模场；过渡输出区，用于耦合光输出信号，并缩小所述光输出信号的光模场；所述过渡输入区和所述过渡输出区的波导类型不同；多模波导干涉区，所述多模波导干涉区的长度方向两端分别与所述过渡输入区和所述过渡输出区连接，用于将所述光输入信号转化为所述光输出信号；沿靠近所述多模波导干涉区的方向，所述过渡输入区的宽度和所述过渡输出区的宽度均逐渐增大。该波导过渡结构在被制造时免于掩模版高精度套偏，以提升良率。
主权项：1.一种波导过渡结构，应用于片上光波导或光传输设备，其特征在于，包括：过渡输入区，用于耦合光输入信号，并扩大所述光输入信号的光模场；过渡输出区，用于耦合光输出信号，并缩小所述光输出信号的光模场；所述过渡输入区和所述过渡输出区的波导类型不同；所述波导类型为脊型波导或条形波导；多模波导干涉区，所述多模波导干涉区的长度方向两端分别与所述过渡输入区和所述过渡输出区连接，用于将所述光输入信号转化为所述光输出信号；沿靠近所述多模波导干涉区的方向，所述过渡输入区的宽度和所述过渡输出区的宽度均逐渐增大。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海赛丽微电子有限公司 波导过渡结构、片上光波导和光传输设备
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