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申请/专利权人：青岛天仁微纳科技有限责任公司
摘要：本发明公开了一种纳米压印过程中模具形变检测方法，属于变形监测技术领域，包括以下步骤：S1、获取模具在当前时刻的加工图像，并确定加工图像的第一空间单元、第二空间单元、第三空间单元和第四空间单元；S2、提取加工图像的变形监测点；S3、根据变形监测点分别与第一空间单元、第二空间单元、第三空间单元和第四空间单元的位置关系，确定模具是否存在变形。在变形监测过程中，考虑加工图像分割的单元的像素点值，又剔除了加工图像不参与变形监测点的像素点，保证纳米压印的模具变形监测准确，失误率低，提高压印的工作效率。
主权项：1.一种纳米压印过程中模具形变检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、获取模具在当前时刻的加工图像，并确定加工图像的第一空间单元、第二空间单元、第三空间单元和第四空间单元；S2、提取加工图像的变形监测点；S3、根据变形监测点分别与第一空间单元、第二空间单元、第三空间单元和第四空间单元的位置关系，确定模具是否存在变形。
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百度查询： 青岛天仁微纳科技有限责任公司 一种纳米压印过程中模具形变检测方法
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