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一种纳米压印过程中模具形变检测方法 

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申请/专利权人:青岛天仁微纳科技有限责任公司

摘要:本发明公开了一种纳米压印过程中模具形变检测方法,属于变形监测技术领域,包括以下步骤:S1、获取模具在当前时刻的加工图像,并确定加工图像的第一空间单元、第二空间单元、第三空间单元和第四空间单元;S2、提取加工图像的变形监测点;S3、根据变形监测点分别与第一空间单元、第二空间单元、第三空间单元和第四空间单元的位置关系,确定模具是否存在变形。在变形监测过程中,考虑加工图像分割的单元的像素点值,又剔除了加工图像不参与变形监测点的像素点,保证纳米压印的模具变形监测准确,失误率低,提高压印的工作效率。

主权项:1.一种纳米压印过程中模具形变检测方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、获取模具在当前时刻的加工图像,并确定加工图像的第一空间单元、第二空间单元、第三空间单元和第四空间单元;S2、提取加工图像的变形监测点;S3、根据变形监测点分别与第一空间单元、第二空间单元、第三空间单元和第四空间单元的位置关系,确定模具是否存在变形。

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