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申请/专利权人：深圳市八零联合装备有限公司

摘要：本发明公开的一种晶粒接续校正方法、系统和可读存储介质，其中方法包括：基于单张薄片晶粒进行分选以接批成一张晶圆，其中，同时加载薄片晶粒以及晶圆芯片盒；对薄片晶粒进行合档，对晶圆芯片盒进行接续分选以完成接续校正；在分选完成后卸载薄片晶粒以及晶圆芯片盒，以供后续校正。本发明计算的角度偏移的误差小，保证了接续角度的精确性，通过计算起始位置的边界点的点阵的平均位置偏移使得误差小于5um,保证了接续位置偏差的精确性，以及通过迭代查位置，保证了计算角度时距离的合理性，从而保证角度的精确性。

主权项：1.一种晶粒接续校正方法，其特征在于，包括以下步骤：基于单张薄片晶粒进行分选以接批成一张晶圆，其中，同时加载薄片晶粒以及晶圆芯片盒；对薄片晶粒进行合档，对晶圆芯片盒进行接续分选以完成接续校正；在分选完成后卸载薄片晶粒以及晶圆芯片盒，以供后续校正；所述对晶圆芯片盒进行接续，具体包括：计算基准坐标系和晶粒坐标系的仿射关系，其中，基于晶圆芯片盒地图给定的坐标建立所述基准坐标系；基于薄片蓝膜上的实际晶粒位置建立所述晶粒坐标系；计算基准坐标系到晶粒坐标系的角度偏差，以及基准坐标系到晶粒坐标系的位置偏差以获取得到所述仿射关系；所述计算基准坐标系到晶粒坐标系的角度偏差，具体包括：获取起始位置以及结束位置；基于所述基准坐标系以及所述晶粒坐标系结合所述起始位置以及所述结束位置得到基准坐标以及实际坐标；计算所述基准坐标以及所述实际坐标的角度偏差；所述获取起始位置以及结束位置，具体包括：基于开始位置的第一边界点预设范围内的点阵得到所述起始位置；选择与所述起始位置相对的第二边界点预设范围内的点阵得到所述结束位置；所述计算所述起始位置的位置偏差，具体包括：提取晶圆芯片盒地图的旋转中心RotateX，RotateY，基准坐标x，y,实际坐标x0,y0，其中，dx＝x-RotateX*cosdaOffset-y-RotateY*sindaOffset-x0；dy＝x-RotateX*sindaOffset+y-RotateY*cosdaOffset-y0；xOffset＝averagedx；yOffset＝averagedy；其中，daOffset表示基准坐标至实际坐标的角度偏差，xOffset,yOffset表示位置偏差。

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