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申请/专利权人：苏州矩阵光电有限公司
摘要：本发明提供了一种三维霍尔传感器及空间磁场矢量的测量方法，包括第一霍尔效应元件、第二霍尔效应元件和导磁部件，第一霍尔效应元件和第二霍尔效应元件叠置于基板之上，用于感测沿基板表面的正交方向的磁场矢量，导磁部件位于第一和第二霍尔效应元件之上，用于将平行于基板表面的磁场分量进行偏转并沿其正交方向导出磁场信号，两个霍尔效应元件独立工作。本发明通过将两个霍尔效应元件以部分重叠的方式相关于同一基板进行定位，易于实现功能元件的定位精度以及装配稳定性，导磁部件分别与两个霍尔效应元件的磁感应功能区在基板表面的正投影形成面积不同的交叠区域以将与磁感应功能区平行的磁场分量进行偏转并沿其正交方向导出磁场信号。
主权项：1.一种三维霍尔传感器，其特征在于，包括：基板；第一霍尔效应元件和第二霍尔效应元件，所述第一霍尔效应元件和所述第二霍尔效应元件以其磁感应功能区平行于所述基板的表面叠置于所述基板之上，用于感应沿基板表面的正交方向的磁通密度并转变为电信号输出；导磁部件，位于所述第一霍尔效应元件和所述第二霍尔效应元件之上，用于将平行于基板表面的磁场分量进行偏转并沿其正交方向导出磁场信号，所述导磁部件与所述第一霍尔效应元件的磁感应功能区在基板表面的正投影存在交叠且界定第一交叠区域，并且所述导磁部件与所述第二霍尔效应元件的磁感应功能区在基板表面的正投影存在交叠且界定第二交叠区域，所述第二交叠区域具有与所述第一交叠区域不同的面积以在驱动信号被施加时，致使所述第一霍尔效应元件的磁感应功能区感应的外部磁场和所述导磁部件导出的磁场信号的叠加磁场与所述第二霍尔效应元件的磁感应功能区感应的外部磁场和所述导磁部件导出的磁场信号的叠加磁场之间存在不同。
全文数据：
权利要求：
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