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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
摘要：提供鎓盐、抗蚀剂组合物和图案形成方法。[课题]提供在远紫外线光刻和EUV光刻中的LWR、分辨率优异且能够抑制抗蚀图案倒塌的化学增幅抗蚀剂组合物、其中使用的鎓盐和使用该抗蚀剂组合物的图案形成方法。[解决手段]一种用下述式1表示的鎓盐。
主权项：1.一种鎓盐，其用下述式1表示， 式1中，n1为0～6的整数；n2为0～3的整数；n3为1～4的整数；W为任选包含杂原子的碳原子数2～20的含氮原子的脂肪族杂环；LA和LB各自独立地为单键、醚键、酯键、酰胺键、磺酸酯键、碳酸酯键或氨基甲酸酯键；XL为单键或任选包含杂原子的碳原子数1～40的亚烃基；R1为任选包含杂原子的碳原子数1～20的烃基，n1≥2时，多个R1彼此任选键合并与它们所键合的W上的碳原子一同形成环；Q1～Q4各自独立地为氢原子、氟原子、碳原子数1～6的烃基或碳原子数1～6的氟化烃基，其中，Q1～Q4之中的至少一者为氟原子或碳原子数1～6的氟化烃基，另外，Q3和Q4彼此任选键合并与它们所键合的碳原子一同形成环；RAL为酸不稳定基团；Z+为鎓阳离子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信越化学工业株式会社 鎓盐、抗蚀剂组合物和图案形成方法
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