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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所

摘要：本发明公开了一种12倍频多普勒频移干涉测量装置及方法，解决了现有的激光干涉仪测量精度低、测量准确性不足，导致无法满足超精密测量要求的问题，具体包括双频激光器、激光读数头、光电探测器、采集器以及上位机；激光读数头包括断面呈矩形状的偏振分光棱镜，包括四侧，其中第一侧与第三侧相对，第二侧与第四侧相对；第一侧之外设置有回射棱镜和偏振片，第二侧之外设置有直角棱镜；第三侧之外平行设置有第一四分之一波片，第四侧之外平行设置有第二四分之一波片和参考镜；双频激光器设置于偏振分光棱镜的第一侧外；光电探测器位于偏振片远离偏振分光棱镜的一侧；采集器分别与双频激光器和光电探测器连接；上位机与采集器连接，用于信号处理。

主权项：1.一种12倍频多普勒频移干涉测量装置，其特征在于：包括双频激光器1、激光读数头2、光电探测器5、采集器6以及上位机7；所述激光读数头2包括断面呈矩形状的偏振分光棱镜201；所述偏振分光棱镜201包括四侧，其中第一侧与第三侧相对，第二侧与第四侧相对；所述第一侧之外沿其边长方向设置有回射棱镜204和偏振片207，且回射棱镜204的光线入射、出射面和偏振片207的光线透射面均与第一侧平行设置；第二侧之外设置有直角棱镜203，直角棱镜203的底面靠近第二侧且与第二侧平行设置；第三侧之外平行设置有第一四分之一波片202；第一四分之一波片202远离偏振分光棱镜201的一侧用于对准待测镜3；第四侧之外平行设置有第二四分之一波片206和参考镜205，且第二四分之一波片206位于偏振分光棱镜201与参考镜205之间；所述双频激光器1设置于偏振分光棱镜201的第一侧外，用于发出两束频率分别为f1和f2的正交线偏振激光入射至偏振分光棱镜201；两束频率分别为f1和f2的正交线偏振激光分别经激光读数头2后获得两束12倍频激光信号；所述偏振片207的输出偏振方向为45°，用于调节两束12倍频激光信号的偏振状态；所述光电探测器5位于偏振片207远离偏振分光棱镜201的一侧，其探测端与偏振片207对应，用于接收两束12倍频激光信号，形成携带有位移测量信息的干涉信号，并将干涉信号转换为电信号；所述采集器6分别与双频激光器1和光电探测器5连接，用于采集双频激光器1出射的正交线偏振激光波长，并采集光电探测器5输出的电信号；所述上位机7与采集器6连接，用于信号处理，以计算待测镜3的实时位移量。

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