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申请/专利权人：佛山大学
摘要：本发明涉及一种基于振镜的激光干涉微纳制造系统，包括激光器，激光分束光传输装置，第一振镜接收所述第一相干光束，第二振镜接收第二相干光束；加工平台包括载台、X轴移动模组和Y轴移动模组，载台用于装载待加工件，待加工件的表面划分有阵列排布的多个加工分区，载台设置于X轴移动模组上，X轴移动模组设置于Y轴移动模组上，经第一振镜控制后的第一相干光束与经第二振镜控制后的第二相干光束汇聚而形成干涉光斑，干涉光斑在每个加工分区内加工出分块图案，在X轴移动模组和Y轴移动模组的协同运动下，带动载台相对第一振镜和第二振镜平移，以使干涉光斑逐个移动到所有的加工分区内以实现所有分块图案拼接加工得到完整图案。
主权项：1.一种基于振镜的激光干涉微纳制造系统，其特征在于，包括：激光器，用于发出加工激光；激光分束光传输装置，所述激光分束光传输装置与所述激光器的出光口相对设置，并用于将接收到的加工激光分成至少第一相干光束和第二相干光束；第一振镜和第二振镜，所述第一振镜与所述第二振镜设置于所述激光分束光传输装置的后端，所述第一振镜接收所述第一相干光束，所述第二振镜接收第二相干光束；加工平台，所述加工平台设置于所述第一振镜和所述第二振镜的下方，所述加工平台包括载台、X轴移动模组和Y轴移动模组，所述载台用于装载待加工件，所述待加工件的表面划分有阵列排布的多个加工分区，所述载台设置于所述X轴移动模组上，所述X轴移动模组设置于所述Y轴移动模组上，经所述第一振镜控制后的所述第一相干光束与经所述第二振镜控制后的所述第二相干光束汇聚而形成干涉光斑，所述干涉光斑在每个加工分区内加工出分块图案，在所述X轴移动模组和所述Y轴移动模组的协同运动下，带动所述载台相对所述第一振镜和所述第二振镜平移，以使所述干涉光斑逐个移动到所有的所述加工分区内以实现所有分块图案拼接加工得到完整图案。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佛山大学 基于振镜的激光干涉微纳制造系统
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