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申请/专利权人：北京旭灿半导体科技有限公司;东旭集团有限公司
摘要：本实用新型涉及碳化硅加工技术领域，公开了一种保温屏以及碳化硅加工装置；保温屏包括底座和顶盖，底座的顶部设有沉槽，底座的底部设有与沉槽连通的第一孔；顶盖位于底座上方并将沉槽封堵，顶盖上设有与沉槽连通的第二孔；底座和顶盖的表面均设有石墨涂层。本实用新型可以有效地阻止硅蒸汽渗入由石墨纤维固化毡制成的底座和顶盖的内部，防止硅蒸汽对底座和顶盖保温能力的改性；此外，石墨涂层具有封闭作用，可以避免底座和顶盖中的其他杂志或气体残留在长晶时释放出来，从而避免对碳化硅晶锭的品质造成影响。
主权项：1.一种保温屏，其特征在于，包括：底座1，所述底座1的顶部设有沉槽12，所述底座1的底部设有与所述沉槽12连通的第一孔11；以及顶盖2，所述顶盖2位于所述底座1上方并将所述沉槽12封堵，所述顶盖2上设有与所述沉槽12连通的第二孔21；其中，所述底座1和顶盖2的表面均设有石墨涂层3。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京旭灿半导体科技有限公司 东旭集团有限公司 保温屏以及碳化硅加工装置
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