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申请/专利权人：盛联精密气体(上海)有限公司
摘要：本实用新型提供一种用于供气装置的汽化模组，包括并联连接的至少两路汽化通路，每路所述汽化通路均包括依次连接的液相截止阀、空浴式汽化器和汽相控制阀；多路所述汽化通路并联后的输出端上设置有温度探头，所述温度探头连接有温度控制器，所述温度控制器与多路所述汽化通路的所述汽相控制阀分别电性连接，所述温度控制器根据所述温度探头检测的温度值与设定的控制温度值的比较控制多路所述汽化通路的所述汽相控制阀的启闭以切换供气的汽化通路。实现气体在设定温度下的稳定可靠供应。
主权项：1.一种用于供气装置的汽化模组，其特征在于，包括并联连接的至少两路汽化通路，每路所述汽化通路均包括依次连接的液相截止阀、空浴式汽化器和汽相控制阀；多路所述汽化通路并联后的输出端上设置有温度探头，所述温度探头连接有温度控制器，所述温度控制器与多路所述汽化通路的所述汽相控制阀分别电性连接，所述温度控制器根据所述温度探头检测的温度值与设定的控制温度值的比较控制多路所述汽化通路的所述汽相控制阀的启闭以切换供气的汽化通路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 盛联精密气体(上海)有限公司 一种用于供气装置的汽化模组
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