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申请/专利权人：沈境植

摘要：本发明作为将电力及气体供应于设置在一个腔室的多个喷头的基板处理装置，包括：腔室部，形成内部空间；加热部，加热基板；喷头部，将气体涂敷于基板的上部面；供电部，对喷头部供电；供气部，对喷头部供应气体；及供应线部，一同供应电力和气体或者分开来单独供应电力和气体。从而，本发明提供的效果如下：具有将电力和气体一同或者将电力和气体分开来单独供应于设置在一个腔室的多个喷头的供应线部，进而提高等离子体的均匀性，也提高气体的均匀性，改善电力和气体的供应，并且简单配置硬件，有助于提高生产力，可实现稳定的等离子体沉积工艺。

主权项：1.一种具有多个喷头的供电及供气结构的基板处理装置，作为将电力及气体供应于设置在一个腔室的多个喷头的基板处理装置，其特征在于，包括：腔室部100，形成处理基板的内部空间；加热部200，在所述腔室部100的内部空间分别设置有多个，以加热基板；喷头部300，分别设置在所述加热部200的上部，将气体涂敷于基板的上部面；喷头调节部700，设置在各个的所述喷头部300的上部，以调节所述喷头部300的位置；供电部400，设置在所述腔室部100的上部，对各个的所述喷头部300供电；供气部500，设置在所述腔室部100的上部，以对各个的所述喷头部300供应气体；及供应线部600，连接于所述喷头部300和所述供电部400及所述供气部500之间，以一同供应电力和气体或者分开来单独供应电力和气体，所述供电部400包括：第一发电工具，设置在所述腔室部100的上部一侧，以供应第一RF电力；第二发电工具，设置在所述腔室部100的上部另一侧，以供应第二RF电力；连接工具，将所述第一发电工具和所述第二发电工具连接于所述供应线部600；第一连接片，设置在所述第一发电工具和所述连接工具之间，以相互连接所述第一发电工具和所述连接工具；及第二连接片，设置在所述第二发电工具和所述连接工具之间，以相互连接所述第二发电工具和所述连接工具，所述连接工具由第一连接环431、第二连接环432、第一结合片433以及第二结合片（434）构成，所述第一连接环431接触并连接于所述供应线部600的外廓周围的一侧，并形成为半月形或者半圆形而紧贴于所述供应线部600的外廓周围的一侧来通电，所述第二连接环432接触并连接于所述供应线部600的外廓周围的另一侧，并形成为半圆形而紧贴于所述供应线部600的外廓周围的另一侧来通电，所述第一结合片433结合于由所述第一连接环431和所述第二连接环432的两端相互接触而结合的结合部位的一侧，并通过螺纹结合固定并支撑，所述第二结合片（434）结合于由所述第一连接环431和所述第二连接环432的两端相互接触而结合的结合部位的另一侧，并通过螺纹结合固定并支撑，所述喷头调节部700包括：第一调节杆，提供所述喷头部300的基准位置；第二调节杆，设置在所述第一调节杆的一侧，以所述第一调节杆为基准调节所述喷头部300一侧的位置；及第三调节杆，设置在所述第一调节杆的另一侧，以所述第一调节杆为基准调节所述喷头部300另一侧的位置，所述供应线部600包括：气体主线路，设置在所述腔室部100的中心；气体分配线路，连接成在所述气体主线路的下部分配；电力主线路，设置在所述腔室部100的中心；及电力分配线路，连接成在所述电力主线路下部分配，所述气体分配线路和所述电力分配线路形成一体以一同供应电力和气体，或者分开单独形成以分开来单独供应电力和气体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 沈境植 具有多个喷头的供电及供气结构的基板处理装置