龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：陕西电子芯业时代科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种适用于FAB的洁净空调系统，包括：空调机房，所述空调机房的内侧面设置有MAU直流式空调系统；回风夹道，所述回风夹道设置于所述空调机房的一侧，所述回风夹道的内侧面设置有下技术夹层。本实用新型提供的一种适用于FAB的洁净空调系统，此空调系统可提供较高的温湿度精度等级，取代了传统的空调DCC设备，减小了回风夹道面积的设置，以辐射换热为主的方式消除室内显热，内嵌管式围护结构以其结构的特殊性，增加了回风夹道的蓄冷能力，整个系统更加节能，温度采集器及压力传感器等部件的设置优化了空调的控制方式，使设计工况与实际运行工况完美匹配，此空调系统一定程度上解决了半导体工厂空调能耗巨大的问题。
主权项：1.一种适用于FAB的洁净空调系统，其特征在于，包括：空调机房，所述空调机房的内侧面设置有MAU直流式空调系统；回风夹道，所述回风夹道设置于所述空调机房的一侧，所述回风夹道的内侧面设置有下技术夹层，所述下技术夹层的顶部设置有高架地板，所述高架地板的顶部设置有主工艺区，所述主工艺区的顶部设置有FFU高效过滤器；上技术夹层，所述上技术夹层设置于所述下技术夹层的顶部；内嵌式围护，所述内嵌式围护设置于所述下技术夹层的一侧，所述内嵌式包括第一水泥砂浆找平层、第一普通砖层、钢筋混凝土、第二普通砖层、第二水泥砂浆找平层、小孔洞和压力传感器，所述第一普通砖层设置于所述钢筋混凝土的左侧，所述第二普通砖层设置于所述钢筋混凝土的右侧，所述第一水泥砂浆找平层设置于所述普通砖层的左侧，所述第二水泥砂浆找平层设置于所述第二普通砖层的右侧，所述第一水泥砂浆找平层和所述第二水泥砂浆找平层的一侧均固定安装有压力传感器，所述小孔洞分别开设于所述第一水泥砂浆找平层、所述第一普通砖层、所述钢筋混凝土、所述第二普通砖层、所述第二水泥砂浆找平层、所述小孔洞和所述压力传感器的内部；多个冷水管道，多个所述冷水管道均设置于所述钢筋混凝土的内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 陕西电子芯业时代科技有限公司 一种适用于FAB的洁净空调系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号