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一种异质结太阳能电池及其制作方法、异质结光伏组件 

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申请/专利权人:苏州腾晖光伏技术有限公司

摘要:本申请公开了一种异质结太阳能电池及其制作方法、异质结光伏组件,包括获得正面和背面均沉积有非晶硅膜层的硅片;在位于正面的非晶硅膜层的表面沉积TCO膜层;将硅片翻转180度,并在位于背面的非晶硅膜层的沿表面边缘覆盖掩膜;掩膜的宽度在0.05mm~0.5mm之间,包括端点值;在覆盖有掩膜的非晶硅膜层的表面沉积TCO膜层;在位于正面和所述背面的TCO膜层的表面制作电极,得到异质结太阳能电池。本申请先在位于正面的非晶硅膜层的表面沉积TCO膜层,然后翻转硅片,在位于背面的非晶硅膜层的表面覆盖掩膜,掩膜的宽度在0.05mm~0.5mm之间,掩膜遮挡宽度变窄,增加背面TCO膜层的面积,提升电池的效率。

主权项:1.一种异质结太阳能电池制作方法,其特征在于,包括:获得正面和背面均沉积有非晶硅膜层的硅片;在位于所述正面的所述非晶硅膜层的表面沉积TCO膜层;将所述硅片翻转180度,并在位于所述背面的所述非晶硅膜层的表面沿边缘覆盖掩膜;其中,所述掩膜的宽度在0.05mm~0.5mm之间,包括端点值;所述掩膜的外侧边缘与所述非晶硅膜层的边缘重合;所述掩膜的遮挡实现正面和背面所述TCO膜层的电学隔离;所述掩膜的材料为不锈钢;将所述硅片翻转180度时,使用机械传输设备对硅片进行翻转;在覆盖有所述掩膜的所述非晶硅膜层的表面沉积TCO膜层;分别在位于所述正面和所述背面的TCO膜层的表面制作电极,得到异质结太阳能电池;在所述获得正面和背面均沉积有非晶硅膜层的硅片之前,还包括:获得所述硅片;在所述硅片的所述正面和所述背面分别沉积本征非晶硅膜层;在位于所述正面的所述非晶硅膜层的表面沉积p型非晶硅膜层;在位于所述背面的所述非晶硅膜层的表面沉积n型非晶硅膜层;在所述获得所述硅片之后,还包括:对所述硅片进行双面制绒处理;在所述分别在位于所述正面和所述背面的TCO膜层的表面制作电极之后,还包括:进行EL测试和IV曲线测试,筛选出不合格的异质结太阳能电池。

全文数据:

权利要求:

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