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申请/专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司

摘要：本发明公开了一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，属于真空蒸镀机技术领域，本发明包括修正板，所述修正板的外端固定连接有传动杆，且传动杆的上端通过轴承安装在衔接柱上，所述修正板位于真空蒸镀机本体内部蒸发坩埚和镀锅之间；还包括：所述修正板的中部开设有引导槽以及位于引导槽内部的延伸板，所述延伸板通过伸出引导槽的距离而改变修正板的遮挡面积；所述延伸板的内部固定连接有调控电机。该真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，能够在对不同产品进行镀膜时，需要根据产品的形状来更改修正结构的覆盖面积，进而以此来保证镀膜均匀，同时可以改变修正板自身的形状，提高自身形态变化的多样性，适应更多的镀膜场景。

主权项：1.一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，包括修正板（1），所述修正板（1）的外端固定连接有传动杆（2），且传动杆（2）的上端通过轴承安装在衔接柱（3）上，所述修正板（1）位于真空蒸镀机本体（4）内部蒸发坩埚和镀锅之间，所述传动杆（2）上方的衔接柱（3）贯穿安装在真空蒸镀机本体（4）上，且衔接柱（3）的顶部与直线推动部件相互连接，所述衔接柱（3）的内部固定连接有伺服电机（5），且伺服电机（5）的输出端与传动杆（2）的上端相互连接其特征在于，还包括：所述修正板（1）的中部开设有引导槽（6）以及位于引导槽（6）内部的延伸板（7），所述延伸板（7）通过伸出引导槽（6）的距离而改变修正板（1）的遮挡面积，且延伸板（7）的底部固定连接有限制活动方向的限位块（8），限位块（8）位于提供滑动轨道的容置槽（9）内部，所述容置槽（9）开设在修正板（1）上，所述限位块（8）和容置槽（9）之间通过弹性元件相互连接；所述延伸板（7）的内部固定连接有调控电机（11），且调控电机（11）输出端连接有导向部件（12），当所述调控电机（11）控制导向部件（12）转动时，改变导向部件（12）与施压部件（13）之间的接触位置，所述施压部件（13）位于导向部件（12）的上方，且施压部件（13）固定在提供支撑力的承载板（14）上，承载板（14）右端固定连接在传动杆（2）上；所述导向部件（12）包括四个沿着调控电机（11）输出轴周向等角度均匀分布的导向臂，四个导向臂分别为第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）；所述第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）均为直线设置的杆状部件，且第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）远离调控电机（11）输出轴的一端为头部，第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）的头部均为球形结构，并且第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）的长度各不相等；所述施压部件（13）包括对导向臂球形头部挤压的压迫块（131）以及滑动安装在压迫块（131）上的活动块（135），活动块（135）的上端固定连接有限制架（132），所述限制架（132）的中部安装有移动控制部件，所述移动控制部件为带螺纹的中心杆（133），且中心杆（133）的上端固定在驱动电机（134）的输出端上；所述压迫块（131）的纵截面设置为等腰梯形结构，且压迫块（131）与导向臂球形头部的接触面设置为斜边；所述限制架（132）的中部设置有与移动控制部件相互配合的螺孔，且限制架（132）的中部和中心杆（133）为螺纹连接，限制架（132）设置为“U”形结构，限制架（132）能够在修正板（1）的中部沿着竖直方向移动；所述延伸板（7）包括母板（701），母板（701）的下端固定安装有限位块（8），所述母板（701）的前端转动连接有子板（702），且子板（702）的转轴上固定连接有传动齿轮（703），所述传动齿轮（703）的侧边啮合连接有齿条（704），且齿条（704）的右端固定连接有引向杆（705），所述引向杆（705）的上端插入在调节柱（706）的内部，且调节柱（706）的内部通过助力弹簧（707）和引向杆（705）相互连接，并且调节柱（706）固定在母板（701）的内部，所述调节柱（706）通过输气部件与限制架（132）相互连接，输气部件包括输气管（151），所述输气管（151）上安装有控制进气量的阀门，且输气管（151）用于连接调节柱（706）和分流块（152），所述分流块（152）的内部滑动安装有活塞板（153），且活塞板（153）的上端固定连接有竖杆（154），所述竖杆（154）的上端与限制架（132）的侧边相互固定，且限制架（132）通过辅助弹簧（155）和分流块（152）相互连接。

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