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申请/专利权人：东丽工程株式会社;塔斯米特株式会社

摘要：即使在一张基板上排列有多个发光色不同的LED元件，也能够以高吞吐率进行检查。具体而言，一种荧光检查装置，其使配置于基板上的LED元件进行荧光发光而进行检查，荧光检查装置具备基板保持部、激励光照射部、摄像部、相对移动部、检查部、控制部，激励光照射部具备第一光源及第二光源，摄像部包括：第一摄像机，其拍摄包含从被照射了第一波长的光的LED元件放射的荧光波长的光的检查图像；以及第二摄像机，其拍摄包含从被照射了第二波长的光的LED元件放射的荧光波长的光的检查图像，控制部使第一摄像机的拍摄与第一光源的发光同步，并且使第二摄像机的拍摄与第二光源的发光同步，并且一边使相对移动部在一个方向上相对移动，一边将第一摄像机与第二摄像机的拍摄定时错开而交替地进行拍摄。

主权项：1.一种荧光检查装置，其使配置于基板上的LED元件进行荧光发光而进行检查，其特征在于，所述荧光检查装置包括：基板保持部，其保持所述基板；激励光照射部，其向所述LED元件照射激励光；摄像部，其拍摄检查图像，该检查图像包含从被照射了所述激励光的所述LED元件放射的荧光波长的光；相对移动部，其使基板保持部相对于所述激励光照射部和所述摄像部相对地移动；检查部，其基于所述检查图像进行所述LED元件的检查；以及控制部，其控制所述激励光照射部、所述摄像部及所述相对移动部，所述激励光照射部具备：第一光源，其发出第一波长的光作为所述激励光；以及第二光源，其发出波长比所述第一波长长的第二波长的光作为所述激励光，所述摄像部包括：第一摄像机，其拍摄包含从被照射了所述第一波长的光的所述LED元件放射的荧光波长的光的所述检查图像；以及第二摄像机，其拍摄包含从被照射了所述第二波长的光的所述LED元件放射的荧光波长的光的所述检查图像，控制部使所述第一摄像机的拍摄与所述第一光源的发光同步，并且使所述第二摄像机的拍摄与所述第二光源的发光同步，并且一边使所述相对移动部在一个方向上相对移动，一边将所述第一摄像机与所述第二摄像机的拍摄定时错开而交替地进行拍摄。

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权利要求：

百度查询： 东丽工程株式会社 塔斯米特株式会社 荧光检查装置