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申请/专利权人:株式会社岛津制作所
摘要:本发明提供一种荧光X射线分析装置。荧光X射线分析装置具备试样台、第一壳体、X射线管、检测器以及真空调整机构。试样台用于配置试样。第一壳体设置于试样台的用于配置试样的一侧的第一面,与试样台一起形成试样室。检测器检测通过将从X射线管射出的初级X射线照射到试样室内的试样而从试样射出的荧光X射线。真空调整机构用于设定试样室的真空度。真空调整机构被设定为:使在试样为液体的情况下的试样的分析中的试样室的真空度成为相比于试样为固体的情况而言低的真空度。
主权项:1.一种荧光X射线分析装置,是用于对试样进行分析的能量色散型荧光X射线分析装置,所述荧光X射线分析装置具备:试样台,其用于配置所述试样;第一壳体,其设置于所述试样台的用于配置所述试样的一侧的第一面,所述第一壳体与所述试样台一起形成试样室;X射线管;检测器,其检测通过将从所述X射线管射出的初级X射线照射到所述试样室内的所述试样而从所述试样射出的荧光X射线;以及真空调整机构,其用于设定所述试样室的真空度,其中,所述真空调整机构被设定为:使在所述试样为液体的情况下的所述试样的分析中的所述试样室的真空度成为相比于所述试样为固体的情况而言低的真空度。
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