龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：度亘核芯光电技术(苏州)有限公司
摘要：本申请公开了一种真空载盘及其制作方法和半导体加工工艺，涉及半导体技术领域。本申请提供的真空载盘具有用于接触晶圆的吸附面，吸附面上沿径向从中心向外依次设置有吸附区和沟槽，沟槽环绕吸附区，吸附区间隔分布有若干吸孔。在真空载盘吸附晶圆进行清洗时，沟槽能够起到液封效果，避免清洗剂向吸附区渗透，因此可以避免晶圆中部主要区域被清洗剂污染，从而改善晶圆接触真空载盘的一面的表面质量，也能够减少对晶圆与真空载盘接触的一面的清洗工序。本申请提供的制作方法可用于制作上述的真空载盘。本申请提供的半导体加工工艺包括使用上述的真空载盘吸附晶圆进行解键合和清洗。
主权项：1.一种真空载盘，其特征在于，所述真空载盘（100）包括用于吸附晶圆（200）的载盘本体，载盘本体具有用于接触晶圆（200）的吸附面，所述吸附面上沿径向从中心向外依次设置有吸附区和沟槽（140），所述沟槽（140）环绕所述吸附区，所述吸附区间隔分布有若干吸孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 度亘核芯光电技术(苏州)有限公司 真空载盘及其制作方法和半导体加工工艺
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号