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申请/专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明提供一种利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法，涉及硅片清洗废水处理技术领域，将含氟废水进行水解酸化，以将含氟废水中的有机物断链，降低COD，得到第一处理废水；将第一处理废水进行接触氧化，控制溶解氧含量，得到第二处理废水，将第二处理废水进行沉淀，泥水分离后，废水外排，回流污泥回用至S1步骤；通过水解酸化及接触氧化步骤使得好氧过成中将有机氮转化为硝酸盐氮或亚硝酸盐氮，在缺氧或厌氧状况下硝酸盐氮或亚硝酸盐氮将转化为氮气排出水体，从而实现脱氮，以使废水总氮量为40mgL以下，使得废水排放达标。
主权项：1.一种利用生化系统降低氢氟酸系统排水中总氮的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将含氟废水进行水解酸化，以将含氟废水中的有机物断链，降低COD，得到第一处理废水；S2：将第一处理废水进行接触氧化，控制溶解氧含量，得到第二处理废水，将有机氮转化为硝酸盐氮或亚硝酸盐氮，硝酸盐氮或亚硝酸盐氮将转化为氮气排出水体；S3：将第二处理废水进行沉淀，泥水分离后，废水外排，回流污泥回用至S1步骤；废水总氮量为40mgL以下。
全文数据：
权利要求：
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