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申请/专利权人：联仕新材料(苏州)股份有限公司

摘要：本发明涉及氢氟酸生产领域，公开了一种电子级氢氟酸生产装置及其生产工艺，生产装置包括低温蒸发机构，低温蒸发机构和吸附机构连接，吸附机构连接纯化塔，纯化塔连接冷凝调配机构；吸附机构包括管体，管体立状布置，管体上下端封闭，管体下部侧壁安装有进气组件，管体上端具有出气接头，管体内具有排料组件，管体内壁和上排料组件之间的间隔为环形腔，排料组件用于将树脂从环形腔下部排向上端，管体和弹性维持组件连接，弹性维持组件用于维持管体处于立状，管体和摇动机构连接，摇动机构用于摇动管体；本发明提出的生产装置和生产工艺，能够实现对氢氟酸气体进行树脂吸附处理，能够有效吸附消除其内的有机挥发物，能够充分利用吸附树脂。

主权项：1.一种电子级氢氟酸生产装置，包括用于制备氢氟酸气体的低温蒸发机构，低温蒸发机构和吸附机构连接，吸附机构连接纯化塔，纯化塔连接冷凝调配机构，其特征在于，吸附机构包括管体（100），管体（100）立状布置，管体（100）上下端封闭，管体（100）下部侧壁安装有进气组件（130），管体（100）上端具有出气接头（111），管体（100）内具有排料组件（160），管体（100）内壁和上排料组件（160）之间的间隔为环形腔，排料组件（160）用于将树脂从环形腔下部排向上端，管体（100）和弹性维持组件（140）连接，弹性维持组件（140）用于维持管体（100）处于立状，管体（100）和摇动机构（200）连接，摇动机构（200）用于摇动管体（100）；摇动机构（200）包括转轴（240）和摇动组件，转轴（240）立状布置，管体（100）设置有若干组，管体（100）围绕转轴（240）呈圆周阵列分布，转轴（240）通过摇动组件带动各管体（100）摇动；排料组件（160）包括套筒（161），管体（100）下端安装有A密封盖（150），套筒（161）安装在A密封盖（150）上，套筒（161）的轴线和管体（100）轴线共线，套筒（161）内安装有排料轴（162），排料轴（162）和套筒（161）的轴线共线，排料轴（162）上安装有螺旋叶片（163），套筒（161）下端具有缺口（164），缺口（164）和环形腔连通；摇动组件和管体（100）一一对应布置，包括摇环（210）、传动组件（230）和限位组件（220），限位组件（220）包括导套（224）和摇杆（221），导套（224）水平布置，导套（224）沿着转轴（240）的径向布置，导套（224）内布置有滑块（223），摇杆（221）中部通过A铰接轴（222）铰接在滑块（223）上，A铰接轴（222）的轴向和转轴（240）轴向一致，摇杆（221）一端和摇环（210）固定连接，摇杆（221）另一端连接传动组件（230），摇环（210）套接在管体（100）中部。

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