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一种G5级氢氟酸提纯取样用过滤装置 

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申请/专利权人:安瑞森(宁夏)电子材料有限公司

摘要:本申请提供一种G5级氢氟酸提纯取样用过滤装置,涉及氢氟酸提纯取样领域。一种G5级氢氟酸提纯取样用过滤装置,包括:支架,所述支架的四周均固定连接有弯型筒,且支架的顶部从上至下依次固定连接有顶罩和底罩;所述顶罩和底罩的内腔分别设置有旋流组件和均流组件;所述支架和弯型筒的内腔分别设置有分流组件和布气组件。该G5级氢氟酸提纯取样用过滤装置,通过旋流组件、均流组件、分流组件、布气组件以及旋转组件的配合,采用同步旋流和分区布气相结合的双重动态过滤方式,对纯化后氢氟酸中残留的细小颗粒杂质实现充分滤除效果,以防细小颗粒杂质仍然存在,提高氢氟酸最终成品的纯度。

主权项:1.一种G5级氢氟酸提纯取样用过滤装置,其特征在于,包括:支架(1),所述支架(1)的四周均固定连接有弯型筒(2),且支架(1)的顶部从上至下依次固定连接有顶罩(3)和底罩(4);所述顶罩(3)和底罩(4)的内腔分别设置有旋流组件(5)和均流组件(6);所述支架(1)和弯型筒(2)的内腔分别设置有分流组件(7)和布气组件(8)。

全文数据:

权利要求:

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