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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要：本发明属于误差分析领域，具体涉及一种基于热稳定性的多普勒差分干涉仪制造误差分析方法。该方法包括：步骤1、建立多普勒差分干涉仪的基准光程差模型：步骤2、分析温度变化前后光路轨迹一致性的影响；步骤3、建立基于制造公差的多普勒差分干涉仪光程差热漂移模型；步骤4、计算各制造参数公差对干涉仪热稳定性的影响大小；步骤5、根据多普勒差分干涉仪稳定性要求分配制造公差。本发明根据多普勒差分干涉仪热稳定性的影响因素，建立了基于制造公差的多普勒差分干涉仪光程差热漂移模型，热漂移模型简单、精度高、分析全面。
主权项：1.一种基于热稳定性的多普勒差分干涉仪制造误差分析方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、建立多普勒差分干涉仪的基准光程差模型：步骤2、分析并获取温度变化对多普勒差分干涉仪光路轨迹一致性的影响因素，并根据获取的影响因素对多普勒差分干涉仪进行热补偿，使得多普勒差分干涉仪的工作温度变化时，采用基准光程差模型计算的多普勒差分干涉仪基准光程差保持不变；步骤3、基于热补偿后的多普勒差分干涉仪，建立基于制造误差的多普勒差分干涉仪光程差热漂移模型：步骤4、将多普勒差分干涉仪的各制造参数公差代入光程差热漂移模型中，计算各制造参数公差带来的光程差热漂移，获取各制造参数公差对多普勒差分干涉仪热稳定性的影响大小；步骤5、基于各制造参数公差对多普勒差分干涉仪热稳定性的影响大小，结合多普勒差分干涉仪的稳定性要求分配制造公差，完成多普勒差分干涉仪制造误差分析。
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权利要求：
百度查询： 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种基于热稳定性的多普勒差分干涉仪制造误差分析方法
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