龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：张玥
摘要：本发明公开了一种用于光刻机的EUV辐射源产生装置，包括传送带；其特征在于：还包括EUV辐射源产生单元、清洗单元、燃料注入单元、真空控制单元；所述EUV辐射源产生单元包括反光杯和激光器；在传送带的带体上设置有通光孔，在通光孔内设置有激光晶体，在激光晶体上部设置有涂层，在涂层上设置有多个微米孔，在微米孔内设置有可产生极紫外光的燃料；所述清洗单元包括碎片清洗腔和蒸汽喷头；所述燃料注入单元包括燃料注入腔和高压喷嘴；在燃料注入腔前部设置有第一机械臂和辅助光源，在燃料注入腔后部设置有第二机械臂。本发明有效实现了装置的连续运行，保证了燃料加注的可靠，提高了装置的产生效率，同时达到提高光刻精度的目的。
主权项：1.一种用于光刻机的EUV辐射源产生装置，包括传送带；其特征在于：还包括EUV辐射源产生单元、清洗单元、燃料注入单元、真空控制单元；所述EUV辐射源产生单元包括套设在传送带上的反光杯和设置在反光杯下方的激光器；所述反光杯的下部设置有弧形的封口，在封口上设有与激光器相配合的激光发射孔；在传送带的带体上设置有通光孔，在通光孔内设置有激光晶体，在激光晶体上部设置有涂层，在涂层上设置有多个微米孔，在微米孔内设置有可产生极紫外光的燃料；所述激光器设置有可识别颜色的探头；所述清洗单元包括套设在传送带上的碎片清洗腔，在碎片清洗腔内部的传送带设置有回环；在清洗腔内设置有蒸汽喷头，所述蒸汽喷头与回环顶部的激光晶体相对应；所述燃料注入单元包括燃料注入腔，在燃料注入腔内设置有高压喷嘴，所述高压喷嘴与燃料储液罐相连通并与微米孔相对应；在燃料注入腔前部设置有第一机械臂和辅助光源，所述第一机械臂用于将感光挡片移设在激光晶体上，所述辅助光源用于向激光晶体发射光束以击穿感光挡片；在燃料注入腔后部设置有第二机械臂，所述第二机械臂用于将感光挡片移除。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 张玥 一种用于光刻机的EUV辐射源产生装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号