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申请/专利权人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要:本发明提供一种通过柔性机构调节的压电堆栈变形镜,其包括片状结构的反射镜,压电陶瓷固定框架及设置在压电陶瓷固定框架内的堆栈压电陶瓷,堆栈压电陶瓷为反射镜变形提供驱动力,作用于堆栈压电陶瓷的柔性调节机构,柔性调节机构可调节堆栈压电陶瓷与反射镜之间的相对位置,使堆栈压电陶瓷靠近或远离反射镜,柔性调节机构通过调节堆栈压电陶瓷的位置,间接作用于反射镜,以调整反射镜的面形;通过柔性调节机构的设置,解决了对变形镜施加初始控制量时牺牲部分校正能力的问题,使变形镜在初始面形优化后,仍能保持较高的波前畸变校正能力。
主权项:1.一种通过柔性机构调节的压电堆栈变形镜,其特征在于,包括片状结构的反射镜,压电陶瓷固定框架及设置在压电陶瓷固定框架内的堆栈压电陶瓷,堆栈压电陶瓷为反射镜变形提供驱动力,作用于堆栈压电陶瓷的柔性调节机构,柔性调节机构可调节堆栈压电陶瓷与反射镜之间的相对位置,使堆栈压电陶瓷靠近或远离反射镜,柔性调节机构通过调节堆栈压电陶瓷的位置,间接作用于反射镜,以调整反射镜的面形。
全文数据:
权利要求:
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