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一种多点测量式光学薄膜测厚仪 

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申请/专利权人:苏州欣恒高科光电科技有限公司

摘要:本发明公开了一种多点测量式光学薄膜测厚仪,包括底座、移动盘、磁片、弹簧二、吸尘机构和间歇传动机构,所述底座上固定连接有固定罩,且固定罩内安装有检测头,所述底座的上表面固定设置有支撑座,且支撑座的一端伸入至固定罩的下方,并且支撑座另一端的上方设置有与固定罩拼接的活动罩,所述支撑座的下表面设置有凹槽内,且凹槽的两侧均设置有滑动槽,2个所述滑动槽上分别滑动连接有滑动块的两端,所述滑动块被限位轴同轴贯穿,且限位轴的内端同轴固定有驱动块,所述驱动块下端的凸起上螺纹贯穿有丝杆,且丝杆的一端轴承连接于凹槽内。该发明不仅能便于保证吸尘的效果,且能均匀的多点检测光学薄膜,提高了测量的准确性。

主权项:1.一种多点测量式光学薄膜测厚仪,包括底座(1)、移动盘(9)、磁片(35)、弹簧二(36)、吸尘机构和间歇传动机构,其特征在于:所述底座(1)上固定连接有固定罩(2),且固定罩(2)内安装有检测头(27),所述底座(1)的上表面固定设置有支撑座(4),且支撑座(4)的一端伸入至固定罩(2)的下方,并且支撑座(4)另一端的上方设置有与固定罩(2)拼接的活动罩(3),所述支撑座(4)的下表面设置有凹槽内,且凹槽的两侧均设置有滑动槽(5),2个所述滑动槽(5)上分别滑动连接有滑动块(29)的两端,所述滑动块(29)被限位轴(28)同轴贯穿,且限位轴(28)的内端同轴固定有驱动块(30),所述驱动块(30)下端的凸起上螺纹贯穿有丝杆(12),且丝杆(12)的一端轴承连接于凹槽内,所述丝杆(12)的另一端轴承贯穿至支撑座(4)的前端与伺服电机(11)相连接,且伺服电机(11)固定安装于底座(1)的上表面,所述底座(1)的上表面设置有吸尘机构的驱动部,且吸尘机构的吸尘部位于支撑台(16)上,且支撑台(16)的上表面均匀分布有吸盘(17)。

全文数据:

权利要求:

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