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申请/专利权人：苏州欣恒高科光电科技有限公司
摘要：本发明公开了一种多点测量式光学薄膜测厚仪，包括底座、移动盘、磁片、弹簧二、吸尘机构和间歇传动机构，所述底座上固定连接有固定罩，且固定罩内安装有检测头，所述底座的上表面固定设置有支撑座，且支撑座的一端伸入至固定罩的下方，并且支撑座另一端的上方设置有与固定罩拼接的活动罩，所述支撑座的下表面设置有凹槽内，且凹槽的两侧均设置有滑动槽，2个所述滑动槽上分别滑动连接有滑动块的两端，所述滑动块被限位轴同轴贯穿，且限位轴的内端同轴固定有驱动块，所述驱动块下端的凸起上螺纹贯穿有丝杆，且丝杆的一端轴承连接于凹槽内。该发明不仅能便于保证吸尘的效果，且能均匀的多点检测光学薄膜，提高了测量的准确性。
主权项：1.一种多点测量式光学薄膜测厚仪，包括底座（1）、移动盘（9）、磁片（35）、弹簧二（36）、吸尘机构和间歇传动机构，其特征在于：所述底座（1）上固定连接有固定罩（2），且固定罩（2）内安装有检测头（27），所述底座（1）的上表面固定设置有支撑座（4），且支撑座（4）的一端伸入至固定罩（2）的下方，并且支撑座（4）另一端的上方设置有与固定罩（2）拼接的活动罩（3），所述支撑座（4）的下表面设置有凹槽内，且凹槽的两侧均设置有滑动槽（5），2个所述滑动槽（5）上分别滑动连接有滑动块（29）的两端，所述滑动块（29）被限位轴（28）同轴贯穿，且限位轴（28）的内端同轴固定有驱动块（30），所述驱动块（30）下端的凸起上螺纹贯穿有丝杆（12），且丝杆（12）的一端轴承连接于凹槽内，所述丝杆（12）的另一端轴承贯穿至支撑座（4）的前端与伺服电机（11）相连接，且伺服电机（11）固定安装于底座（1）的上表面，所述底座（1）的上表面设置有吸尘机构的驱动部，且吸尘机构的吸尘部位于支撑台（16）上，且支撑台（16）的上表面均匀分布有吸盘（17）。
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权利要求：
百度查询： 苏州欣恒高科光电科技有限公司 一种多点测量式光学薄膜测厚仪
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