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申请/专利权人：西安电子科技大学
摘要：本发明属于微电子技术领域，公开了一种基于环形驻波谐振腔的并行MPCVD装置及方法。包括微波源、环形驻波波导谐振腔、石英钟罩组、气体输送和压力控制系统组、冷却系统及衬底生长载体平台、环形运输轨道系统及辅助系统，所述微波源含环形保护器和匹配系统；所述微波源直接在波导H面与环形驻波波导谐振腔输入端连接，所述环形波导多谐振波腹同步对各个反应腔提供强交变电磁场，激励多等离子体基团，以支持多组产品的并行生产和基于多腔的复杂掺杂工艺准无缝衔接及并行工作。本发明的装置提供了多组产品的并行生产和基于多腔的复杂掺杂工艺准无缝衔接及并行工作。
主权项：1.一种基于环形驻波谐振腔的并行MPCVD装置，其特征在于，包含：微波源、环形驻波波导谐振腔、石英钟罩组、气体输送和压力控制系统组、冷却系统及衬底生长载体平台、环形运输轨道系统及辅助系统，所述微波源含馈电波导和匹配系统；所述微波源经过环形器和匹配系统后直接在波导H面与环形驻波波导谐振腔输入端连接，所述环形波导多谐振波腹同步对各个反应腔提供强交变电磁场，激励多等离子体基团，以支持多组产品的并行生产和基于多腔的复杂掺杂工艺准无缝衔接及并行工作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安电子科技大学 一种基于环形驻波谐振腔的并行MPCVD装置及方法
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