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一种托举用对接机构以及托举机构 

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申请/专利权人:卡探半导体科技(上海)有限公司

摘要:本实用新型公开了一种托举用对接机构以及托举机构,其中,托举用对接机构包括:驱动机构、手臂轴、弹性垫、手臂安装件、鱼眼轴承、直线轴承和调整件,驱动机构与手臂轴的一端传动连接,手臂轴的另一端与调整件连接,调整件上形成有一安装面,直线轴承可滑动地套设于手臂轴上,鱼眼轴承套设于直线轴承上,鱼眼轴承安装于手臂安装件上,弹性垫设置于手臂安装件和驱动机构之间。通过对本实用新型的应用,提供了一种便于安装固定的托举用对接机构以及托举机构,尤其适用于在半导体测试工作中对测试头的稳定托举,且便于对测试头的位姿进行调整以使得其能够进行精准的对接,还消除了零件加工误差产生的应力,进一步提高了安装和工作效率。

主权项:1.一种托举用对接机构,其特征在于,包括:驱动机构、手臂轴、弹性垫、手臂安装件、鱼眼轴承、直线轴承和调整件,驱动机构与所述手臂轴的一端传动连接,所述驱动机构用于驱动所述手臂轴的转动,所述手臂轴的另一端与所述调整件连接,所述调整件上形成有一安装面,所述直线轴承可滑动地套设于所述手臂轴上,所述鱼眼轴承套设于所述直线轴承上,所述鱼眼轴承安装于所述手臂安装件上,所述弹性垫设置于所述手臂安装件和所述驱动机构之间。

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权利要求:

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