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申请/专利权人：广东智联半导体装备有限公司
摘要：本实用新型提供了一种全自动水平双腔等离子机，包括：等离子机主体，能够对托盘上的板件进行等离子表面处理；托盘升降机构，能够将装有板件的托盘向上托举至设定高度；托盘夹持机构，能够对所述托盘升降机构托举的托盘进行夹持固定；第一吸盘机构，能够同时吸附所述托盘夹持机构夹持固定的托盘及其上的板件。本实用新型的有益效果是：实现了全自动上料和下料，有利于提高等离子机的工作效率，降低劳动强度。
主权项：1.一种全自动水平双腔等离子机，其特征在于，包括：等离子机主体，能够对托盘上的板件进行等离子表面处理；托盘升降机构，能够将装有板件的托盘向上托举至设定高度；托盘夹持机构，能够对所述托盘升降机构托举的托盘进行夹持固定；第一吸盘机构，能够同时吸附所述托盘夹持机构夹持固定的托盘及其上的板件；机械手，所述机械手与所述第一吸盘机构连接，所述机械手能够带动所述第一吸盘机构在所述托盘夹持机构与板料传送平台之间往复移动；板料传送平台，能够压紧托盘，所述板料传送平台与所述等离子机主体对接，所述板料传送平台能够将托盘及其上的板件送入所述等离子机主体，所述等离子机主体能够将托盘及其上的板件送出至所述板料传送平台；第二吸盘机构，能够同时吸附所述板料传送平台上的托盘和板件；水平传送机构，所述水平传送机构与所述第二吸盘机构连接，能够带动所述第二吸盘机构进行水平移动，将所述第二吸盘机构吸附的托盘和板件水平传送至下一工序。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东智联半导体装备有限公司 全自动水平双腔等离子机
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