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申请/专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
摘要：本发明属于半导体制造技术领域，提供了一种远程等离子源腔体耐腐蚀膜层阳极氧化电路及方法，其中电路包括控制器、均流控制主电路和均流控制从电路，其中均流控制主电路包括功率三极管S1、电阻R1、R2、R3、二极管D1、电解电容C1、C2、运放比较器U1和均流控制器U2，均流控制器U2的负极输入端和运放比较器U1的输出端连接，正极输入端输入基准电压Vr；加法器根据均流控制器U2的输出端信号及基准电压VS，输出均流电流误差信号e0；PI调节器用于根据均流电流误差信号e0进行信号补偿。本发明能够实时反应母线均流电流的状态，并更好地跟踪分流，不需要主从电路之间相互切换，结构简单且能保证均流精度，确保阳极氧化膜层的均匀性，提高远程等离源的使用寿命。
主权项：1.一种远程等离子源腔体耐腐蚀膜层阳极氧化电路，其特征在于，包括均流控制主电路和均流控制从电路，所述均流控制主电路包括：功率三极管，集电极连接输入电流，基极和控制器连接；电阻R1，一端和功率三极管的发射极连接；二极管D1，阳极和电阻R1的另一端连接；电解电容C1，一端和功率三极管S1的发射极连接，另一端接地；电阻R2，一端和功率三极管S1的发射极连接；电解电容C2，一端和电阻R2的另一端连接，另一端和二极管D1的阳极连接；电阻R3，一端和二极管D1的阴极连接，另一端连接负载；运放比较器U1，负极输入端和电阻R3的一端连接，正极输入端和电阻R3的另一端连接；均流控制器U2，负极输入端和运放比较器U1的输出端连接，正极输入端输入基准电压Vr；加法器，根据均流控制器U2的输出端信号及基准电压VS，输出均流电流误差信号e0；PI调节器，用于对均流电流误差信号e0进行补偿；所述均流控制从电路和所述均流控制主电路的结构一致；控制器，根据所述均流控制主电路和所述均流控制从电路中的PI调节信号，分别向所述均流控制主电路和所述均流控制从电路中的功率三极管的基极输出开关信号。
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权利要求：
百度查询： 江苏神州半导体科技有限公司 远程等离子源腔体耐腐蚀膜层阳极氧化电路及方法
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