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申请/专利权人：武汉大学
摘要：本发明公开了一种超精细金属微纳米结构的多步激光冲击压印方法，该方法通过利用超高应变率多步激光冲击压印工艺和硬质垂直沟道高精度表面模具结合实现超精细金属微纳米结构制造。利用初步激光冲击压印微米结构侧壁中拉拔织构的各向异性，并执行第二步激光冲击处理，进行二次交叉激光冲击压印，实现非均匀、不可恢复的塑性变形，即可在金属箔表面制备出超尖锐的三维纳米尺寸金属尖角结构。本发明提出的方法能够直接实现从微米结构到纳米尖角的大规模制备，并通过控制压印角度、压印温度和激光强度等参数能够实现金属尖角尺寸调控，操作简单，生产效率高。
主权项：1.一种超精细金属微纳米结构的多步激光冲击压印方法，其特征在于：该方法通过利用超高应变率多步激光冲击压印工艺和硬质垂直沟道高精度表面模具实现超精细金属微纳米结构制造，包含如下步骤：S1：第一步在金属靶材上执行初步激光冲击压印过程，金属产生塑性变形并产生微米结构，微米结构的竖直侧面为拉拔变形并拉拔织构；S2：第二步激光冲击压印在初步激光冲击压印后的金属靶材或模具旋转后执行，利用拉拔织构在平行于拉拔方向与其他方向力学性能的各向异性，在第二步冲击压印过程中产生金属尖角；在此过程中，能够通过控制压印角度、压印温度和激光强度，实现金属纳米尖角的尺寸调控，并获得大规模制备的纳米金属尖角；具体步骤如下：所述步骤S1中包括：S1.1材料铺设；S1.2初步激光冲击压印处理；所述步骤S2中包括：S2.1材料旋转及二次铺设；S2.2多步激光冲击压印；所述步骤S1.1中，材料铺设所涉及的材料包括模板、金属靶材、吸收层及约束层；所述模板为具有平行分布微米尺寸垂直沟道结构的硬质模板，其材料包括硬质陶瓷或硬质合金；所述金属靶材为两面光滑的金属箔或表面带有沉积层的金属箔，金属靶材的材料为纯金属或者合金；其中，金属箔的厚度大于100nm，沉积层的厚度大于10nm；所述约束层为厚度0.5mm-3cm的透明材料，包括玻璃、水和透明亚克力板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 超精细金属微纳米结构的多步激光冲击压印方法
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