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一种光学镀膜元件透、反射率测试系统及方法 

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申请/专利权人:联合光科技(北京)有限公司

摘要:本发明公开了一种光学镀膜元件透、反射率测试系统及方法,涉及光学镀膜技术领域,包括获取光学镀膜元件信息,对光学膜进行光学测试,获取光学膜透过曲线,根据光学膜透过曲线,获取光学膜特征波长信息,基于光学膜特征波长信息,获取光学膜特征数据集。本发明通过光学镀膜折射差异系数,对透过曲线极值点进行筛选,获取透过曲线极值特征点信息,通过透过曲线极值特征点信息,选取出特定的透过曲线极值点,便于之后对光学镀膜元件进行测试,提高了测试效率,通过光学镀膜元件测试偏离系数确保了光学镀膜元件测试数据的可靠性和准确性,避免与光学镀膜元件实际状况差别过大,提高了光学镀膜元件的产品稳定性。

主权项:1.一种光学镀膜元件透、反射率测试方法,其特征在于,包括:获取光学镀膜元件信息,所述光学镀膜元件信息包括光学膜信息和未镀膜元件信息;对光学膜进行光学测试,获取光学膜透过曲线;根据光学膜透过曲线,获取光学膜特征波长信息;基于光学膜特征波长信息,对光学膜进行光学检测,获取光学膜特征数据集;基于透过光线强度分析,获取未镀膜元件的透过率,所述未镀膜元件的透过率为光学膜特征波长下的透过率;根据未镀膜元件的透过率,获取未镀膜元件光学性能数据;根据光学膜特征数据集和未镀膜元件光学性能数据,获取光学膜光学性能数据,所述光学膜光学性能数据为对未镀膜元件进行镀膜后的光学膜光学性能特征信息;根据光学膜光学性能数据和未镀膜元件光学性能数据,获取光学镀膜元件性能信息。

全文数据:

权利要求:

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