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申请/专利权人：中国科学院福建物质结构研究所;中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所
摘要：本申请公开了一种热流传感器及其制备方法，使用氧化锆作为热流传感器的基底材料，氧化锆热膨胀系数与铂电极接近，因此较好地解决了大温度变化范围下的膜基结合问题，通过该制备方法制备出的热流传感器，具有高精度高灵敏度，以及优秀的耐冲刷特性和耐冷热冲击性能，使用寿命长，除了可应用于常规热流传感器的使用领域，包括工业、能源、科学实验等，还特别适合应用于极端条件下的超高温或者超低温流体的热传递测量，比如：涡轮喷气或者涡轮风扇发动机系统、超燃冲压发动机、火箭发动机及超高速风洞等设备内部的气流热测量。
主权项：1.一种热流传感器，其特征在于，包括氧化锆基材和铂电极镀层，所述铂电极镀层紧密生长在所述氧化锆基材上；所述铂电极镀层厚度为0.1～100um；所述铂电极镀层纯度大于99％。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院福建物质结构研究所 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 一种热流传感器及其制备方法
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