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申请/专利权人：南京大学

摘要：本发明公开了一种脉冲激光辐照宽禁带功率器件实验装置及测试方法，涉及宽禁带半导体辐照特性测试领域，所述装置包括光路耦合系统、电路测试系统、温度控制系统和交互控制系统；光路耦合系统控制激光入射参数，反馈待测宽禁带功率器件表面形貌的图像；电路测试系统监测待测宽禁带功率器件在辐照前后的电学特性、捕获辐照瞬态脉冲电流及进行动态开关测试；温度控制系统控制待测宽禁带功率器件的环境真空度和温度；交互控制系统发送测试指令，并采集反馈测试数据和图像。本发明实现了对宽禁带功率器件的辐照敏感区域定位、辐照瞬态电流测试、辐照敏感条件测试以及辐照退化测试，具有实验便捷、操作简单、自动化测试及测试结果全面准确等优点。

主权项：1.一种脉冲激光辐照宽禁带功率器件实验装置，其特征在于：包括光路耦合系统、电路测试系统、温度控制系统和交互控制系统；所述光路耦合系统；通过光路将脉冲激光入射到待测宽禁带功率器件的表面，用于调控脉冲激光参数、控制激光入射位置及反馈待测宽禁带功率器件表面形貌的图像；所述电路测试系统：通过三个探针台分别与待测宽禁带功率器件的栅极、漏极和源极电气连接，用于监测待测宽禁带功率器件在辐照前后的电学特性、捕获辐照瞬态脉冲电流及进行动态开关测试；所述温度控制系统：在腔体内放置待测宽禁带功率器件，用于控制待测宽禁带功率器件的环境真空度和温度；所述交互控制系统：通过通讯线缆分别与所述光路耦合系统、电路测试系统和温度控制系统连接，用于发送测试指令，并采集反馈测试数据和图像；所述光路耦合系统包括脉冲激光控制单元、能量控制单元、图像采集单元及压电位移单元；所述脉冲激光控制单元包括脉冲激光器，用于控制脉冲激光器发出脉冲激光；所述能量控制单元包括电机驱动电路和衰减片切换电机，用于调整单脉冲能量大小；所述压电位移单元包括用于控制样品在水平位置XY轴方向的扫描以及控制样品的聚焦深度；所述图像采集单元包括显微镜相机、芯片照明LED和环境照明LED，用于提供照明环境和采集图像；所述电路测试系统包括驱动控制单元、信号接入选择单元、动态开关测试单元、瞬态电流测试单元、电性测试单元和波形采集单元；所述动态开关测试单元包括一个NPN晶体管和一个PNP晶体管组成的互补推挽电路，输出端与信号接入选择单元连接，根据接入信号向待测宽禁带功率器件施加电压脉冲；所述瞬态电流测试单元包括栅极偏置电路、漏极偏置电路和数控电压源；所述栅极偏置电路的AC端与波形采集单元相连，DC端与数控电压源相连，COM端与信号接入选择单元的栅极控制信号开关相连；所述漏极偏置电路的AC端与波形采集单元相连，DC端与数控电压源相连，COM端与信号接入选择单元的漏极控制信号开关相连；所述漏极偏置电路的AC端与波形采集单元相连，DC端与GND相连,COM端与信号接入选择单元的源极控制信号开关相连。

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