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申请/专利权人：赛尔格有限责任公司;恩特格里斯公司
摘要：本申请涉及一种用于过滤的干法工艺膜。一种用于过滤的干法工艺微孔膜，其中，膜的至少一个层具有小于0.035微米、优选在约0.010微米至约0.020微米之间的平均孔径和小于14微米的厚度。该膜可以用于超滤或纳滤工艺。该膜表现出高尺寸稳定性。
主权项：1.一种适用于过滤在微电子处理中使用的溶剂的过滤器产品，其包括：包含在过滤器外壳中的干法工艺微孔膜，其中所述干法工艺微孔膜的至少一个层具有：i小于0.035微米的平均孔径，和ii小于14微米的厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 赛尔格有限责任公司 恩特格里斯公司 用于过滤的干法工艺膜
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