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基于垂直沟道范德华异质结的红外探测器及制备方法 

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申请/专利权人:东南大学

摘要:本发明公开了一种基于垂直沟道范德华异质结的红外探测器及制备方法,包括衬底和从下至上依次堆叠在所述衬底上的金底电极、透明底电极、范德华异质结、透明顶电极和金顶电极;该范德华异质结为具有垂直沟道的范德华异质结,且该范德华异质结为pn结;本发明通过设计垂直沟道异质结替代水平沟道,将载流子传输距离缩短到几十纳米,实现了暗电流、载流子传输时间、载流子传输效率的协同优化;本发明在同一器件中同时兼顾了高速、高灵敏、宽波段、室温工作及易于硅基集成的优点,为下一代室温红外探测器的发展提供了关键技术支撑。

主权项:1.一种基于垂直沟道范德华异质结的红外探测器,其特征在于:包括衬底和从下至上依次堆叠在所述衬底上的金底电极、透明底电极、范德华异质结、透明顶电极和金顶电极;所述范德华异质结为具有垂直沟道的范德华异质结,且该范德华异质结为pn结。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 东南大学 基于垂直沟道范德华异质结的红外探测器及制备方法

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