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申请/专利权人:西北工业大学;西安赛福斯材料防护有限责任公司
摘要:本发明公开了一种适用于TiAl合金的高温抗氧化涂层及其制备方法,该方法包括:一、处理得到预制的TiAl合金基材;二、准备TiaAlbCrcNbdSieYf多元合金靶材;三、对预制的TiAl合金基材进行等离子体刻蚀;四、采用多弧离子镀获得表面沉积Ti‑Al‑Cr‑Nb‑Si‑Y高温抗氧化涂层的TiAl合金。本发明采用多弧离子镀工艺在TiAl合金表面制备Ti‑Al‑Cr‑Nb‑Si‑Y涂层,该涂层结构均匀致密,与基体TiAl合金结合良好,且硬度高,具备良好高温抗氧化性能,且该制备工艺简单,可操作性强,生产成本较低,利于大规模产业化应用。
主权项:1.一种适用于TiAl合金的高温抗氧化涂层的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤一、TiAl合金基材预制:将TiAl合金表面精加工后进行抛光处理,随后清洗至目测表面无灰尘、油污、水渍等杂质后洗净烘干,得到预制的TiAl合金基材;步骤二、多元合金靶材准备:准备TiaAlbCrcNbdSieYf多元合金靶材并安装于多弧离子镀设备的真空室阴极靶位上,其中a、b、c、d、e、f代表各对应元素的原子占比,且a+b+c+d+e+f=1,0.1≤a≤0.3,0.5≤b≤0.6,0.1≤c≤0.16,0.03≤d≤0.04,0.05≤e≤0.10,f≈0.01;步骤三、基材刻蚀:将步骤一中预制的TiAl合金基材安置于步骤二中装有TiaAlbCrcNbdSieYf多元合金靶材的真空室载物架上,抽真空使真空室内压强不超过5×10-3Pa,开启高频等离子体电源,然后通入H2调节真空室内压强为0.5Pa~2Pa,再对预制的TiAl合金基材加偏压,形成的电场对TiAl合金基材进行等离子体刻蚀除去表面的氧化物杂质,而后停止通入H2,通入Ar气调节真空室内压强为0.5Pa~2Pa,继续对TiAl合金基材进行等离子体刻蚀;步骤四、多元涂层沉积:对步骤三中经Ar气等离子体刻蚀后的TiAl合金施加外加电场,并向真空室内通入氩气调节真空度,然后启动阴极靶电弧进行多弧离子镀,获得表面沉积Ti-Al-Cr-Nb-Si-Y高温抗氧化涂层的TiAl合金。
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权利要求:
百度查询: 西北工业大学 西安赛福斯材料防护有限责任公司 一种适用于TiAl合金的高温抗氧化涂层及其制备方法
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