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基于等效电源原理的外差干涉仪光电时延测量系统及其测量方法 

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申请/专利权人:哈尔滨工业大学

摘要:基于等效电源原理的外差干涉仪光电时延测量系统及其测量方法,涉及外差激光干涉仪光电时延测量技术领域。针对外差激光干涉仪光电转化时延测量的过程中,现有测量方案与干涉仪的波长、带宽不适配,实施过程复杂,因耦合测试装置延迟而测量精度低等问题,基于光敏二极管的等效电路和等效电源原理,设计能够等效光电探测器时延特性的板卡,并通过测量其相移得到光电探测器内的电延迟;随后叠加光敏二极管的上升时间,获得光电探测器的时间延迟。本发明具备实施便捷、无需昂贵参考器件、适用范围广、无额外延迟耦合而测量准确的优点,尤其在设备研发与器件校准等方面具有突出优势。

主权项:1.基于等效电源原理的外差干涉仪光电时延测量系统,其特征在于,系统包括信号传播延迟获取部件、电传播延迟获取部件和延迟叠加部件;所述信号传播延迟获取部件用于获取半导体内的信号传播延迟;所述电传播延迟获取部件用于获取封装内的电传播延迟;所述延迟叠加部件用于将半导体内的信号传播延迟和封装内的电传播延迟叠加,获得光电探测器时间延迟。

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