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申请/专利权人：江苏中科晶元信息材料有限公司
摘要：本实用新型公开了砷化镓晶圆用甩干装置，涉及砷化镓晶圆加工技术领域，包括安装基座，所述安装基座的顶部设置有甩干箱，所述甩干箱的顶部设置有箱盖，且甩干箱的侧面设置有出水管，所述甩干箱的内部设置有分隔板，所述甩干箱的内部设置有甩干组件，且甩干组件贯穿在安装基座的底部中间，所述甩干组件的外壁上设置有定位组件。本实用新型通过设置的驱动电机带动主动齿轮、从动齿轮与旋转轴进行旋转，从而旋转轴带动甩干桶与砷化镓晶圆放置筒进行对砷化镓晶圆的甩干，且甩干桶与砷化镓晶圆放置筒的外壁上均开设有多个圆孔，从而方便对晶圆上的水分的排出，从而提高甩干效率，同时无需工作人员手动翻面，提高工作效率。
主权项：1.砷化镓晶圆用甩干装置，包括安装基座1，其特征在于：所述安装基座1的顶部设置有甩干箱2，所述甩干箱2的顶部设置有箱盖3，且甩干箱2的侧面设置有出水管4，所述甩干箱2的内部设置有分隔板5，所述甩干箱2的内部设置有甩干组件6，且甩干组件6贯穿在安装基座1的底部中间，所述甩干组件6的外壁上设置有定位组件13；甩干组件6包括驱动电机7，所述驱动电机7的顶端设置有主动齿轮8，所述主动齿轮8的侧面设置有从动齿轮9，所述从动齿轮9的中间设置有旋转轴10，所述旋转轴10的顶端设置有甩干桶11，所述甩干桶11的内部设置有砷化镓晶圆放置筒12；定位组件13包括插接杆14，所述插接杆14的一端设置有限位板15，且插接杆14的另一端开设有限位槽20，所述限位槽20的内部设置有限位杆17，所述限位杆17的顶端设置有拉动板18，所述拉动板18的下方设置有连接弹簧19，且连接弹簧19的底端设置有安装板16。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏中科晶元信息材料有限公司 砷化镓晶圆用甩干装置
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