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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明提供了一种用于半导体激光装备的平移式快速精密运动控制平台，包括：X轴位移台，所述X轴位移台包括X轴导轨组件、X轴驱动组件和至少2个X轴走线组件；Y轴位移台，所述Y轴位移台设置于所述X轴位移台上，所述Y轴位移台包括Y轴导轨组件、Y轴驱动组件和至少2个Y轴走线组件。本发明通过采用圆柱滚子导轨，提供一种承载能力大、刚性高、结构紧凑的平移式快速精密的运动控制平台。
主权项：1.一种用于半导体激光装备的平移式快速精密运动控制平台，其特征在于，包括：X轴位移台，所述X轴位移台包括X轴位移台的上板、X轴位移台的底板、至少2个X轴导轨组件、X轴驱动组件和至少2个X轴走线组件，每个所述X轴导轨组件包括X轴圆柱滚子导轨和滑块，所述X轴导轨组件用于实现所述X轴位移台运动的导向，所述X轴驱动组件对所述X轴位移台提供驱动力，所述X轴走线组件分别与所述X轴位移台的上板和底板连接，所述至少2个X轴走线组件以相对方式安装于所述X轴位移台的两侧；Y轴位移台，所述Y轴位移台设置于所述X轴位移台上，所述Y轴位移台包括Y轴位移台的上板、Y轴位移台的底板、至少2个Y轴导轨组件、Y轴驱动组件和至少2个Y轴走线组件，每个所述Y轴导轨组件包括Y轴圆柱滚子导轨和滑块，所述Y轴位移台的底板与所述X轴位移台的上板固定连接，所Y轴位移台跟随所述X轴位移台的上板沿X轴方向运动，所述Y轴导轨组件用于实现所述Y轴位移台运动的导向，所述Y轴驱动组件对所述Y轴位移台提供驱动力，所述Y轴走线组件分别与所述控制平台的上板和底板连接，所述至少2个Y轴走线组件以相对方式安装于所述Y轴位移台的两侧；当所述X轴位移台沿X轴移动时，所述Y轴位移台跟随所述X轴位移台沿X轴方向移动，并且所述Y轴位移台沿Y轴方向运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种用于半导体激光装备的平移式快速精密运动控制平台
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