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申请/专利权人：均豪精密工业股份有限公司

摘要：本发明公开了一种研磨装置，所述研磨装置具有一研磨单元和一基座单元，所述研磨单元具有一研磨盘、旋转主轴和马达；基座单元具有一底座、第一角度调整单元、第二角度调整单元和滑动座，研磨单元设置于底座上，第一角度调整单元和第二角度调整单元设置于底座和滑动座之间，第一角度调整单元具有平行于第一水平轴向的第一枢轴，第二角度调整单元具有平行于第二水平轴向的第二枢轴，从而使得研磨单元能够以第一枢轴和第二枢轴为中心来调整研磨盘的倾斜角度，进而达到控制晶圆研磨面的平面度的目的。

主权项：1.一种研磨装置，用于设置于一晶圆加工机的机台上，所述晶圆加工机具有一转盘，所述转盘具有多个晶圆夹盘，所述转盘能够旋转地带动多个所述晶圆夹盘移位到多个加工位置，所述研磨装置设置于所述机台上邻近于所述转盘外侧且对应于多个所述加工位置的其中之一的位置，且能够通过所述研磨装置对所述加工位置上的所述晶圆夹盘上的晶圆进行研磨；所述晶圆加工机能够定义出一回转平面，以及垂直于所述回转平面的一垂直轴向和平行于所述回转平面且彼此相互垂直的第一水平轴向和第二水平轴向；其特征在于，所述研磨装置包括：一研磨单元，所述研磨单元具有一研磨盘、一旋转主轴和马达；其中所述旋转主轴和所述马达连接于所述研磨盘的上方，所述研磨盘能够沿着所述垂直轴向接触所述晶圆，从而对所述晶圆进行研磨；以及一基座单元，所述基座单元包括：一滑动座，所述滑动座以能够沿着所述垂直轴向往复移位的方式设置于邻近所述转盘外侧的位置；一底座，所述研磨单元设置于所述底座上；以及一第一角度调整单元和第二角度调整单元，所述底座通过所述第一角度调整单元和所述第二角度调整单元连接所述滑动座；所述第一角度调整单元具有平行于所述第一水平轴向的第一枢轴，所述第二角度调整单元具有平行于所述第二水平轴向的第二枢轴，从而使得所述研磨单元能够以所述第一枢轴和所述第二枢轴为中心来调整和所述垂直轴向的相对倾斜角度；其中，所述第一角度调整单元具有一第一调整座，所述第二角度调整单元具有一第二调整座；其中所述第一调整座通过所述第一枢轴枢接于所述第二调整座，所述第二调整座通过所述第二枢轴枢接于所述滑动座；所述第一角度调整单元具有第一调整机构，所述第一调整机构设置于所述第一调整座和所述第二调整座之间，所述第一调整机构具有一第一步进马达、连接于所述第一步进马达的第一螺杆、连接所述第一螺杆的一第一滑块、一第一滑轨以及枢接于所述第一滑块的一第一连杆；其中所述第一滑轨设置于所述第一调整座或所述第二调整座的其中之一，所述第一滑块设置于所述第一滑轨上，所述第一连杆两端的其中一端枢接于所述第一滑块，所述第一连杆的另一端枢接于一第一枢接座上，所述第一枢接座和所述第一滑轨相对地设置于所述第一调整座或所述第二调整座的其中另一个；所述第一枢轴配置于所述第一调整座的一侧边，所述第一滑块和所述第一连杆配置于所述第一调整座相对于所述第一枢轴的另一侧边，从而使得所述第一连杆在受到所述第一滑块的驱动而摆动时，能够带动所述第一调整座以所述第一枢轴为中心摆动。

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