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申请/专利权人：杭州电子科技大学

摘要：本发明公开一种高效提取集成电路版图光掩膜中心线的设计方法。本发明方法准确率高，鲁棒性好，且对与多种类型的样例具有通用性；采用的核心算法是Delaunay逐点插入法，原理简单，占用内存少，容易完成，执行效率高。同时，由于在对三角网数据处理时中采用了二维vector，空间复杂度可以表示为ON2，N为样例给出的点数。本发明能够有效实现集成电路版图光掩膜中心线的提取，并且最小化中心点列数量，准确率和速度也能满足工程上的要求。

主权项：1.一种高效提取集成电路版图光掩膜中心线的设计方法，其特征在于包括Delaunay三角网构建和光掩膜中心点列还原：所述的Delaunay三角网构建具体采用以下步骤：步骤1、从经opc校正后的集成电路版图光掩膜样例文件中获取所有离散点坐标数据；步骤2、构建版图光掩膜凸壳2.1集成电路版图光掩膜的各个离散点的坐标为x,y，对离散点进行预处理：根据离散点的x,y,x+y,x-y四项值，筛选出上述四项值中任意一项为最大值或最小值的点，然后按照逆时针的顺序相连，构成初始凸壳；将构成上述初始凸壳所有离散点存储到凸壳链表中；2.2选取该版图光掩膜凸壳链表中任意两个相邻的点Pi和Pi+1，在步骤2.1剩余的离散点中找出与点Pi和Pi+1距离最大的点Po，其中Po位于点Pi和Pi+1构成的有向线段PiPi+1的右侧；判断点Po是否位于点Pi和Pi+1构成的线段上，若是则将该点插入到Pi和Pi+1中间，完成凸壳修正，并加入到凸壳链表中；若否则不插入，并累计没有插入点的次数；2.3重复2.1-2.2，直到没有插入点的累计次数等于凸壳链表中所有点的总数，则完成版图光掩膜凸壳的建立；步骤3、建立三角网按照顺时针或逆时针方向，依次对版图光掩膜凸壳内所有四边形利用局部优化算法LOP进行判决修正，完成对三角网的建立；3.1随机选取版图光掩膜凸壳内的一个离散点Pj与构成凸壳的各点相连，形成放射状的图形；3.2局部优化算法LOP判决修正3.2.1放射状的图形内随机选取两个相邻三角形，即两个具有公共边的三角形，进而形成四边形；3.2.2对上述四边形的其中一个三角形做其外接圆；判断上述四边形的第四个顶点是否在该三角形的外接圆内；如果该顶点不在，则满足空外接圆特性，无需修正；如果该顶点在其中，则选取四边形另一对角线作为两个新三角形的公共边，使其满足空外接圆特性，完成放射状的图形修正，得到初始三角网；3.3随机选取版图光掩膜凸壳内第二个离散点Pj+1插入初始三角网内，在初始三角网中找出所有外接圆包含该离散点Pj+1的三角形，提取顶点，进而将离散点Pj+1与上述顶点相连后构建修正后的放射状的图形，重复步骤3.2，完成初始三角网修正；3.4版图光掩膜凸壳内所有剩余离散点依次重复步骤3.3，最终得到所需的Delaunay三角网，实现对集成电路版图光掩膜图形结构的三角剖分；所述的光掩膜中心点列还原具体采用以下步骤：步骤1、判断集成电路版图光掩膜样例文件类型为单通道还是多岔路；步骤2、若集成电路版图光掩膜样例文件类型为单通道，进行单通道中心点列提取；具体是：首先根据已经获得的版图光掩膜样例文件起点终点坐标点序号，将各个坐标点分为两组，也就是单通道多边形的两组边，分别用两个数组表示；版图光掩膜样例文件引入Delaunay三角网，获取所有跨越两个数组的Delaunay三角网上的线，并求出该线的中点，构建中心点列；步骤3、若为集成电路版图光掩膜样例文件类型为多岔路，则进行多岔路中心点列提取；具体是：版图光掩膜样例文件所有离散点按顺序连接建立多边形；版图光掩膜样例文件引入Delaunay三角网，对所有三角形的三个边求中点，然后对在多边形范围以外的点进行过滤剔除，剩余的中点即求得集成电路版图光掩膜的中心点列；步骤4、对求解后得到的版图光掩膜中心点列进行排序，其中若是多岔路类型的中心点列进行分段输出；由于Delaunay三角网中的相邻三角形的边会重合，以此需要对重复的中点进行合并，由于中心点列和版图轮廓并不完全匹配，因此需要对产生的中点进行排序；步骤5、对步骤4排序处理后的版图光掩膜中心点列进行聚集点、平行点进行剔除，使得最小化中心点列的数量，以满足工程上集成电路版图制造的要求；步骤6、根据求得的版图光掩膜中心点列，结合工程制版上原来的线宽，间距等规则，实现版图中连接线的还原；步骤7、将其与实际版图中的连接线进行重合对比，计算得到准确率；若准确率大于阈值，则满足工程上的集成电路版图光掩膜的中心线提取要求； 其中P为准确率，S1为还原的连接线面积，S2为实际版图中的连接线面积。

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