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申请/专利权人：国仪量子技术(合肥)股份有限公司
摘要：本发明公开了一种气体注入装置，气体注入装置安装在扫描电镜上，气体注入装置涉及精密仪器技术领域，气体注入装置包括：固定组件，固定组件设在扫描电镜的外部且中部限定有安装孔，固定组件包括连接件和支撑件，连接件与扫描电镜连接；气体注入件，气体注入件穿设在安装孔内且安装在支撑件上；多个调节件，多个调节件沿安装孔的周向间隔布置，调节件可活动的设在连接件和支撑件中的一个，且调节件适于与连接件和支撑件中的另一个抵接。根据本发明实施例的气体注入装置，通过在连接件和支撑件中的一个设置调节件，且调节件可以与连接件和支撑件中的另一个抵接，可以保证气体注入件的端部对准共焦点，提高操作人员所获取的数据的准确性，便于操作。
主权项：1.一种气体注入装置，所述气体注入装置安装在扫描电镜上，其特征在于，包括：固定组件，所述固定组件设在所述扫描电镜的外部且中部限定有安装孔，所述固定组件包括连接件和支撑件，所述连接件与所述扫描电镜连接，所述支撑件的至少一部分位于所述连接件的至少一部分在所述安装孔中轴线方向上的一侧且两者通过第一密封件密封连接；气体注入件，所述气体注入件穿设在所述安装孔内且安装在所述支撑件上；多个调节件，多个所述调节件沿所述安装孔的周向间隔布置，所述调节件可活动的设在所述连接件和所述支撑件中的一个，且所述调节件适于与所述连接件和所述支撑件中的另一个抵接，所述调节件可相对于所述连接件活动以驱使所述支撑件的一部分向靠近或远离所述第一密封件的方向活动以调节所述支撑件的倾斜角度，以改变所述气体注入件的延伸方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司 气体注入装置
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