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申请/专利权人：亚芯半导体材料(江苏)有限公司

摘要：本发明公开了一种异形镍铂合金靶材制备方法，包括以下具体步骤：S1：真空熔炼；S2：热轧制；S3：第一次热处理；S4：冲压；S5：第二次热处理；S6：检测；S7：机械加工：用数控车床将完成热处理的异形板坯按客户图纸进行机械加工；S8：测量：几何尺寸测量、平整度测量、磁通量测量；S9：清洗包装；S10：产品入库。本发明可以得到稳定性好，成品率高的异形镍铂合金靶材，通过控制各个步骤参数改善靶材的使用率，从而提高生产效率，较大的节约了成本。

主权项：1.一种异形镍铂合金靶材制备方法，其特征在于，包括以下具体步骤：S1：真空熔炼：S1.1：首先将模具预热，预热温度为350—750℃，预热时间为1.5—2h，将配比好的铂、镍原料放入坩埚；S1.2：将加热完成的模具放入真空炉并关闭真空熔炼炉盖开始抽真空；S1.3：当真空度达到2.8×10-3E时，通入氮气至真空度4.0×10-2E，继续抽真空，当真空度达到8.5×10-4E时，关闭抽真空，通入氩气至5—10Pa；S1.4：打开电源，开始升温至1650—1800℃，升温速率为15—25℃M，材料在坩埚内完全融化后保温25—40min；S1.5：当合金溶液充分混合后再次升温至1900—2100℃，升温速率25—35℃M，保温30—60S，停止加热，降低功率，温度至1550—1750℃；S1.6：开始浇注，把坩埚内的合金溶液浇注至预热过的模具中，浇注速率为7—9cm3S；S1.7：停止加热，当温度降至25—50℃时出炉得到成分均匀的镍铂合金铸锭，铸锭脱模并取样；S2：热轧制：S2.1：使用常规的热处理加热炉将出炉的镍铂合金铸锭进行加热，加热温度650—900℃，保温时间1.5—2h；S2.2：将加热好的铸锭进行一道次或两道次轧制后进行二次加热，加热时间20—35min；S2.3：二次加热后再进行单道次或多道次轧制；S3：第一次热处理：S3.1：使用常规的热处理加热炉将轧制后的板坯进行热处理，热处理温度650—850℃，保温1—2h；S3.2：保温时间完成后取出板坯，将板坯放置于用三角钢制作的物料架上，使其于物料架尽量减少接触面积，物料架置于大气环境中进行空冷，待温度降至室温出炉进入下一工序；S4：冲压：S4.1：采用常规的热处理加热炉将热处理后的板坯进行预热350—520℃，保温时间40—60min；S4.2：把冲压模具放置在冲压机上，调整好模具位置及冲压行程；S4.3：将完成预热的板坯放入准备好的模具里进行冲压成型，保压15—30min；S5：第二次热处理：S5.1：采用常规的热处理加热炉将完成冲压成型的异形板坯进行热处理650—850℃，升温速率为5—10℃min，保温时间40min—1.5h；S5.2：保温结束取出异形板坯空冷至室温并取样；S6：检测：S6.1：对铸锭的取样做组分与杂质分析；S6.2：对热处理完成后的异形板坯进行晶粒尺寸分析；S7：机械加工：用数控车床将完成热处理的异形板坯按客户图纸进行机械加工；S8：测量：S8.1：几何尺寸测量：首先人工利用游标卡尺、壁厚千分尺及深度尺等测量工具进行测量，再使用三坐标测量仪测量；S8.2：平整度测量：使用塞尺、平整度检测平台及平整测量仪测量；S8.3：磁通量测量：使用磁通测量计进行测量；S9：清洗包装：S9.1：用去油剂对加工好的产品进行第一次清洗，再用无水乙醇对其二次清洗；S9.2：将清洗好的产品用PE尼龙真空包装袋进行真空包装充保护气包装；S10：产品入库。

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